【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 便携风冷干泵NeoDry300E

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 便携风冷干泵NeoDry300E

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 NeoDry300E 便携风冷干泵，NeoDry-E 系列大型多级罗茨干式泵，为本系列顶配大抽速机型，风冷无油结构，无需水冷配套，兼顾大抽气量与洁净抽气，适合大腔体真空设备、大型分子泵机组前级配套，可灵活移位布置。

核心参数

• 最大抽气速度：5000 L/min（300m³/h）

• 极限压力：5.0 Pa（未开启气镇）

• 电源：三相 AC200～240V（50/60Hz）

• 冷却方式：风冷

• 整机重量：125 kg

• 进气口径：NW50，排气口径：NW25

• 标配氮气气镇结构，开启气镇最大水蒸气处理量 600 g/h

• 噪音：≤58 dB (A)

• 振动：≤8 μm p-p

产品特点

1. 无油多级罗茨结构，无油雾污染，保障真空腔体洁净等级

2. 风冷散热，无需水冷管路，省去配套供水系统，现场布置、移位便捷

3. 超大抽速输出，大幅缩短大腔体抽真空节拍，提升工艺效率

4. 转子非接触运转，自身产尘量低，适配半导体、镀膜等洁净制程

5. 空气、氮气工况维护周期长，长期运维成本可控

6. 满足 SEMI、CE 安全规范，量产产线配套稳定性强

应用场景

大型涡轮分子泵前级机组、大型氦检系统、真空镀膜、冷冻干燥、真空脱气、等离子清洗设备、大型实验室真空装置等洁净真空工况。

使用注意事项

1. 开启氮气气镇时，按铭牌参数管控氮气压力、流量，处理水汽、可凝溶剂气体

2. 进风口预留充足通风空间，禁止遮挡，防止散热不良过热停机

3. 抽吸粉尘、腐蚀性气体，进气前端建议加装前置过滤器

4. 长期停机前通入氮气吹扫泵腔，避免水汽残留锈蚀内部组件

5. 定期点检运行状态，出现报警及时停机排查故障