【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 便携风冷干泵NeoDry100E

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 便携风冷干泵NeoDry100E

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 NeoDry100E 便携风冷干泵，NeoDry-E 系列多级罗茨干式泵，大抽速风冷无油机型，延续 E 系列紧凑免水冷优势，适合大流量前级真空抽取，支持移位布置，用于洁净真空工艺配套。

核心参数

• 最大抽气速度：1670 L/min（100m³/h）

• 极限压力：2.0 Pa（未开启气镇）

• 电源：单相 AC200～240V（50/60Hz）

• 冷却方式：风冷

• 外形尺寸：576mm×320mm×365mm

• 整机重量：90 kg

• 进气口径：NW40，排气口径：NW25

• 自带氮气气镇结构，开启气镇最大水蒸气处理量 600 g/h

• 噪音：≤55 dB (A)

• 振动：≤8 μm p-p

产品特点

1. 无油多级罗茨结构，无油雾污染，保证真空腔体洁净

2. 风冷设计，无需冷却水，省去水冷管路，现场安装移位灵活

3. 同风冷干泵里大抽速规格，大幅缩短大腔体抽气节拍

4. 转子非接触运转，产尘量低，适配半导体、分析仪器等洁净制程

5. 空气、氮气工况下维护周期可达约 6 年，长期运维成本低

6. 通过 SEMI S2、CE 安全标准，量产设备配套稳定性好

应用场景

大涡轮分子泵前级、氦检系统、真空镀膜、冷冻干燥、真空脱气、等离子清洗、大型质谱设备、现场真空测试装置等洁净真空工况。

使用注意事项

1. 开启氮气气镇时，按铭牌参数控制氮气压力、流量，处理水汽、可凝溶剂气体

2. 进风口预留充足通风空间，禁止遮挡，防止散热不良过热停机

3. 抽吸粉尘、腐蚀性气体，进气前端建议加装前置过滤器

4. 长期停机前通入氮气吹扫泵腔，避免水汽残留锈蚀内部组件

5. 定期点检运行状态，出现报警及时停机排查故障