【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MUP1800E

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MUP1800E

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MUP1800E 干式螺杆真空泵，MU 系列大抽速节能水冷款干泵，无油干式螺杆结构，面向半导体中等负荷工艺开发，机身紧凑、功耗低，标配氮气吹扫接口，可搭配真空计、真空控制器成套配套使用。

核心参数

• 最大抽速：30000L/min（1800m³/h）

• 极限压力：0.5Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～60SLM

• 冷却水流量：2.0L/min

• 稳态功耗：1.1kW

• 外形尺寸：910 (L)×420 (W)×900 (H) mm

• 冷却方式：水冷型

产品特点

1. 低功耗节能设计，长时间连续运行，用电成本低，满足半导体长时间制程需求。

2. 紧凑型机身，相比同抽速竞品占地面积更小，节省产线布置空间。

3. 水冷控温搭配可控氮气吹扫，抑制水汽、溶剂在泵腔内部冷凝结晶，适配带少量可凝气体工况。

4. 内置温度、过载、压力故障自诊断，报警信号可输出给 PLC，实现产线联锁保护。

5. 同系列区分：MUP-E 中等负荷节能款；MUH 为重负荷高耐久款；SDX/SDT 为重污染强腐蚀 SD 系列干泵。

应用场景

半导体 PVD、灰化、氧化层蚀刻、多晶硅蚀刻；薄膜沉积；轻度腐蚀真空工艺；真空负压反应、真空干燥。

使用注意事项

1. 进气前端建议配置粉尘捕集、溶剂回收组件，固体杂质进入泵腔会造成转子磨损。

2. 冷却水供给保持稳定，水温偏高会造成泵体过热报警停机。

3. 氮气吹扫流量按照工艺气体组分合理设置，抑制可凝气体析出。

4. 横向对比：MUP600E 小抽速；MUP1200E 中大抽速；MUP1800E 为 MUPE 系列最大抽速常规半导体机型；SDT1800 为重粉尘、强腐蚀严苛工艺机型。