【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL20E50

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL20E50

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDL20E50 干式螺杆真空泵，SDL 系列大抽速机型，专为半导体、FPD 的大型 Load Lock 锁仓开发，无油干式结构，大气下抽气速度快，有效缩短抽气节拍，保障洁净真空制程。

核心参数

• 最大抽气速度：40000 L/min

• 前级泵最大抽速：8000 L/min

• 极限压力：0.8 Pa（未开启氮气吹扫）

• 电源：三相 AC200～220V / 380～440V（50/60Hz）

• 外形尺寸：1370mm×850mm×1295mm

• 整机重量：800 kg

• 可选配置：氮气吹扫组件

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，满足晶圆、面板等高洁净制程要求

2. 大气段抽气能力突出，适配大腔体锁仓，缩短真空循环节拍，提升产线产能

3. 一体化集成单元，自带控制回路，调试、接入产线便捷

4. 转子非接触运转，自身产尘少，降低腔体污染风险

5. 内置状态监测功能，支持对接上位控制系统，远程监控运行状态、报警信息

6. 长期连续运行稳定性强，适配 24 小时不间断量产工况

应用场景

半导体大型晶圆 Load Lock 锁仓、FPD 面板真空腔体、光学镀膜、大型真空检测设备等需要大流量快速抽真空的洁净制程。

使用注意事项

1. 氮气吹扫的压力、流量严格按照铭牌参数设定，抑制工艺副产物、水汽沉积

2. 进气侧建议配套前置粉尘过滤器，保护内部转子组件

3. 供电回路配置稳压、缺相、过载保护，避免异常供电损坏泵体

4. 按保养周期点检吹扫管路、密封件、散热系统，及时更换损耗件

5. 控制进气负载，避免长时间在高压工况持续运行