【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL3600

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL3600

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL3600

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDL3600 干式螺杆真空泵，SDL 系列旗舰大抽速锁仓专用机型，无油干式结构，主打大腔体快速抽气，相比 SDL36E60 升级了前级泵抽速，适配大尺寸晶圆、FPD 面板 Load Lock 真空锁仓等高洁净量产制程。

核心参数

• 最大抽气速度：60000 L/min

• 前级泵最大抽速：12500 L/min

• 极限压力：0.8 Pa（未开启氮气吹扫）

• 电源：三相 AC200～220V / 380～440V（50/60Hz）

• 整机重量：950 kg

• 可选配置：氮气吹扫组件

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，保障晶圆、显示基板高洁净等级

2. 前级泵规格升级，大腔体抽气节拍更短，提升产线流转效率

3. 一体化成套单元，自带控制模块，支持快速接入产线控制系统

4. 转子非接触式运转，自身产尘低，降低产品污染风险

5. 具备完整运行监测、报警输出接口，支持上位机远程监控

6. 专为 24h 不间断半导体、面板量产工况设计，长期运行稳定性强

应用场景

大尺寸半导体晶圆 Load Lock 锁仓、FPD 平板显示大型真空腔体、高端光学镀膜、大型真空检测设备等大腔体快速抽真空洁净制程。

使用注意事项

1. 氮气吹扫压力、流量严格按照铭牌参数设定，抑制水汽、工艺副产物沉积

2. 进气前端建议配套粉尘过滤器，保护泵体内部转子组件

3. 供电回路配置稳压、缺相、过载保护，规避异常供电损坏设备

4. 按保养周期定期点检吹扫管路、密封件、散热系统，按时更换损耗件

5. 控制进气负载，避免长时间在高压工况持续运行