【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU100XE

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU100XE

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU100XE

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MU100XE 干式螺杆真空泵，属于 MU-XE 系列水冷紧凑型干式泵，无油结构，主打超低功耗、小型化设计，适合设备内置集成，用于洁净真空抽取。

核心参数

• 最大抽气速度：1660 L/min

• 极限压力：1.5 Pa（无氮气吹扫）

• 电源：三相 AC200～220V（50/60Hz）

• 额定功耗：0.25 kW

• 冷却方式：水冷

• 外形尺寸：450mm×230mm×275mm

• 可选配置：氮气吹扫组件

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，保障真空腔体洁净

2. 同级别超低功耗，节能优势突出，长期使用成本低

3. 体积小巧紧凑，占地面积很小，适合直接集成在真空设备内部

4. 转子非接触运转，产尘量低，满足半导体洁净制程要求

5. 水冷散热，连续长时间运行稳定性好，温升控制优异

6. 震动低、噪音小，符合 SEMI、CE 相关标准

应用场景

半导体传输腔、Load Lock 锁仓、光学镀膜、分析仪器、小型真空脱气、实验室真空系统等洁净真空工况。

使用注意事项

1. 需按规格接入冷却水，启用缺水保护，避免高温损坏泵体

2. 抽吸易凝露、含粉尘气体，建议搭配前置过滤与氮气吹扫

3. 水冷管路做好保温，防止管路外壁结露滴水

4. 定期检查冷却水回路、密封件，按保养周期维护转子

5. 三相供电回路配置过载、缺相保护