【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU300XE

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU300XE

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MU300XE 干式螺杆真空泵，属于 MU-XE 系列水冷紧凑型干式泵，无油结构，主打节能、小型机身，适合设备内置集成，用于洁净真空抽取。

核心参数

• 最大抽气速度：5000 L/min

• 极限压力：0.5 Pa（无氮气吹扫条件下）

• 电源：三相 AC200～220V（50/60Hz）

• 额定功耗：0.45 kW

• 冷却方式：水冷

• 外形尺寸：450mm×230mm×520mm

• 可选配置：氮气吹扫组件

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，保障真空腔体洁净度

2. 同步电机 + 专属转子设计，同规格下功耗低，长期运行节能优势明显

3. 机身紧凑轻薄，占用空间小，适合直接内置集成在真空设备当中

4. 转子非接触运转，产尘量低，满足半导体洁净制程要求

5. 水冷散热，长时间连续运行稳定，温升控制优异

6. 运行震动、噪音低，适配精密真空设备配套

应用场景

半导体 Load Lock 锁仓、传输腔、光学镀膜、分析仪器、真空脱气、实验室真空系统等洁净真空工况。

使用注意事项

1. 按规格接入冷却水，启用缺水保护，防止高温损坏泵体

2. 抽吸含粉尘、易凝结气体，建议搭配前置过滤器与氮气吹扫组件

3. 水冷管路做好防护，避免管路外壁结露滴水

4. 定期检查冷却水回路、密封件，按保养周期维护转子组件

5. 三相供电回路配套过载、缺相保护装置