【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU180X

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU180X

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MU180X 干式螺杆真空泵，属于 MU-X 系列水冷紧凑型干式泵，无油结构，节能小型化，适合设备内置集成，用于洁净真空抽取。

核心参数

• 最大抽气速度：3000 L/min

• 极限压力：0.5 Pa（无氮气吹扫条件下）

• 电源：三相 AC200～220V（50/60Hz）

• 额定功耗：0.5 kW

• 冷却方式：水冷

• 外形尺寸：550mm×280mm×299mm

• 可选配置：氮气吹扫组件

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，保障真空腔体洁净

2. 低功耗设计，长期连续运行节能效果好

3. 机身紧凑小巧，占用空间小，便于集成到真空设备内部

4. 转子非接触运转，产尘量低，适配半导体洁净制程

5. 水冷散热，长时间连续运行稳定，温升控制优秀

6. 震动、噪音水平低，满足精密设备配套要求

应用场景

半导体锁仓、传输腔、光学镀膜、分析仪器、真空脱气、实验室真空系统等洁净真空工况。

使用注意事项

1. 按规格接入冷却水，启用缺水保护，防止高温损坏泵体

2. 抽吸含粉尘、易凝结气体，建议搭配前置过滤器与氮气吹扫

3. 水冷管路做好防护，避免外壁结露滴水

4. 定期检查冷却水回路、密封件，按周期维护转子组件

5. 三相供电回路配套过载、缺相保护装置