【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU600XE

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU600XE

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MU600XE 干式螺杆真空泵，属于 MU-XE 系列水冷紧凑型干式泵，无油结构，高抽速、低功耗，机身窄幅小巧，适合设备内置集成，用于洁净真空抽取。

核心参数

• 最大抽气速度：10000 L/min

• 极限压力：0.5 Pa（无氮气吹扫条件下）

• 电源：三相 AC200～220V（50/60Hz）

• 额定功耗：0.5 kW

• 冷却方式：水冷

• 外形尺寸：530mm×230mm×520mm

• 可选配置：氮气吹扫组件

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，保障真空腔体洁净

2. 同抽速等级功耗更低，长期连续运行节能优势突出

3. 窄机身紧凑型设计，宽度仅 230mm，便于集成在真空设备内部

4. 转子非接触运转，产尘量低，符合半导体洁净制程标准

5. 水冷散热，长时间连续运行稳定，温升控制优异

6. 震动、噪音水平低，适配精密真空配套设备

应用场景

半导体 Load Lock 锁仓、传输腔、光学镀膜、分析仪器、真空脱气、真空干燥、实验室真空系统等洁净真空工况。

使用注意事项

1. 按规格接入冷却水，启用缺水保护，防止高温损坏泵体

2. 抽吸含粉尘、易凝结气体，建议搭配前置过滤器与氮气吹扫组件

3. 水冷管路做好防护，避免管路外壁结露滴水

4. 定期检查冷却水回路、密封件，按保养周期维护转子组件

5. 三相供电回路配套过载、缺相保护装置