【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU300PE/HE

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU300PE/HE

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MU300PE/HE 干式螺杆真空泵，属于 MU-PE/HE 系列风冷干式泵，PE 为标准基础款，HE 型号搭载热氮气吹扫结构，无油设计，抽速更大、极限真空优异，适配轻中度腐蚀的洁净真空工艺。

核心参数

• 最大抽气速度：5000 L/min

• 极限压力：0.5 Pa（无氮气吹扫）

• 电源：三相 AC200～220V（50/60Hz）

• 额定功耗：0.8 kW（HE 开启热氮吹扫增加约 0.2kW）

• 冷却方式：风冷

• 外形尺寸：630mm×350mm×520mm

• 整机重量：110 kg

• 可选配置：热氮气吹扫（HE 型号标配）

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，维持高洁净真空环境

2. HE 款自带热氮气吹扫，有效防止水汽凝结、粉尘附着，提升耐蚀能力

3. 风冷散热，无需配套冷却水回路，现场布置简单灵活

4. 转子非接触运转，颗粒析出少，适配半导体精密制程

5. 低震动、低噪音，整机结构紧凑，设备集成方便

6. 节能设计，适合长时间连续稳定运行

应用场景

半导体 CVD、蚀刻工艺、光学镀膜、真空脱气、真空干燥、分析仪器、化工轻腐蚀气体抽除等洁净真空场景。

使用注意事项

1. HE 型号使用热氮吹扫时，氮气压力、流量严格按照铭牌参数设置

2. 抽吸含粉尘、易凝结、腐蚀性气体，前端建议加装过滤器、冷阱捕集装置

3. 风冷进风口保持通畅，禁止遮挡，避免过热保护停机

4. 定期检查密封件、吹扫管路，按保养周期维护转子组件

5. 三相供电回路配置过载、缺相保护装置