【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU600PE/HE

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU600PE/HE

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MU600PE/HE 干式螺杆真空泵，属于 MU-PE/HE 系列风冷干式泵，PE 为标准款，HE 款标配热氮气吹扫功能，无油结构，抽速大，耐轻中度腐蚀，适合洁净制程真空抽取。

核心参数

• 最大抽气速度：10000 L/min

• 极限压力：0.5 Pa（无氮气吹扫条件下）

• 电源：三相 AC200～220V（50/60Hz）

• 额定功耗：0.85 kW（HE 开启热氮吹扫功耗增加约 0.2kW）

• 冷却方式：风冷

• 整机重量：130 kg

• 可选配置：热氮气吹扫（HE 型号标配）

产品特点

1. 无油干式设计，无油雾污染，保障真空腔体洁净度

2. HE 版本搭载热氮气吹扫，抑制水汽凝结、粉尘附着，提升对腐蚀性气体耐受性

3. 风冷散热，无需配套冷却水回路，现场布线安装简单灵活

4. 转子非接触式运转，产尘量低，适配半导体精密工艺

5. 低震动、低噪音，长时间连续运行稳定，节能性优秀

6. 整机布局紧凑，便于集成到各类真空设备产线

应用场景

半导体 CVD、蚀刻工艺、光学镀膜、真空脱气、真空干燥、分析仪器、化工轻腐蚀气体抽吸等洁净真空工况。

使用注意事项

1. HE 型号使用热氮吹扫时，氮气压力、流量严格依照铭牌参数设置

2. 抽吸含粉尘、易凝结、腐蚀性气体，前端建议加装过滤器、冷阱捕集装置

3. 风冷进风口必须保持通畅，禁止遮挡，防止过热触发保护停机

4. 定期检查密封件、吹扫管路，按照保养周期维护转子组件

5. 三相供电回路需配套过载、缺相保护装置