【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU100PE/HE

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MU100PE/HE

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MU100PE/HE 干式螺杆真空泵，属于 MU-PE/HE 系列风冷干式泵，PE 为标准型、HE 搭载热氮气吹扫功能，无油式结构，适合中轻度腐蚀工艺，节能紧凑，洁净抽气。

核心参数

• 最大抽气速度：1660 L/min

• 极限压力：3.0 Pa（无氮气吹扫条件下）

• 电源：三相 AC200～220V（50/60Hz）

• 额定功耗：0.6 kW（HE 型开启热氮吹扫功耗增加约 0.2kW）

• 冷却方式：风冷

• 外形尺寸：630mm×350mm×360mm

• 整机重量：70 kg

• 可选配置：热氮气吹扫（HE 型号标配）

产品特点

1. 无油干式结构，无油蒸汽污染，保障真空环境洁净

2. HE 版本带热氮气吹扫，提升耐腐蚀性，抑制气体凝露、粉尘附着

3. 风冷设计，无需外接冷却水，安装布局更灵活

4. 低功耗设计，长期连续运行节能性好

5. 体积小巧紧凑，占地面积小，便于设备端集成

6. 转子无接触运转，颗粒产生少，适配精密制程

7. 运行震动低、噪音控制良好

应用场景

半导体蚀刻、CVD、分析仪器、镀膜、实验室真空系统、化工轻腐蚀气体抽除、真空脱泡等中轻度腐蚀洁净真空工况。

使用注意事项

1. HE 型号使用热氮吹扫时，氮气压力、流量需按铭牌要求设定

2. 处理腐蚀性、易凝结气体，建议前端增设过滤、捕集装置

3. 风冷进风口需保持通畅，避免遮挡导致过热停机

4. 定期检查吹扫管路、密封件，按照保养周期维护转子组件

5. 供电为三相电源，做好缺相、过载保护