【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MUH3000

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MUH3000

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MUH3000 干式螺杆真空泵，属于 MU 系列水冷干式泵，无油结构，洁净无油污染，高抽速、低功耗，适配各类工艺真空工况。

核心参数

• 最大抽气速度：50000 L/min

• 极限压力：0.5 Pa

• 电源：三相 AC200～220V（50/60Hz）

• 额定功耗：1.6 kW

• 冷却方式：水冷，冷却水流量 2 L/min

• 外形尺寸：910mm×420mm×900mm

• 可选氮气吹扫功能

产品特点

1. 无油干式结构，不会产生油蒸汽污染真空腔体，保障制程洁净度

2. 水冷散热设计，长时间连续运行稳定性强，温升可控

3. 高抽速、低耗电，相比同规格真空泵节能优势突出

4. 结构紧凑，占地空间小，方便产线集成安装

5. 可配置氮气吹扫，适配含粉尘、腐蚀性气体的工况，保护泵体内部转子

6. 运行震动、噪音低，适合精密工艺场景

应用场景

半导体制造、镀膜工艺、分析仪器、化工真空反应、锂电池制程、真空脱气、真空干燥等对洁净真空有要求的行业。

使用注意事项

1. 需按规格接入匹配冷却水，缺水保护需正常启用，防止高温损坏泵体

2. 处理腐蚀性、粉尘气体时，建议配套前置过滤、氮气吹扫组件

3. 定期检查冷却水回路、密封件及转子状态，按维护周期保养

4. 供电需稳定，三相电源接线规范，避免缺相运行