【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MUP1200E

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MUP1200E

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MUP1200E 干式螺杆真空泵，MU 系列节能水冷款干泵，无油干式螺杆结构，主打半导体中等负荷工艺，同抽速级别里机身紧凑、功耗低，标配氮气吹扫接口，可搭配真空计、真空控制器成套配套使用。

核心参数

• 最大抽速：19000L/min（1140m³/h）

• 极限压力：0.5Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～60SLM

• 冷却水流量：2.0L/min

• 稳态功耗：0.95kW

• 外形尺寸：850 (L)×380 (W)×950 (H) mm

• 冷却方式：水冷型

产品特点

1. 超低功耗节能机型，适合长时间不间断连续运行，降低长期用电成本。

2. 紧凑型设计，占地面积相比同抽速机型缩小约 32%，节省产线布局空间。

3. 水冷控温结构，搭配可控氮气吹扫，抑制水汽、溶剂在泵腔内部冷凝结晶，轻微腐蚀工况下稳定性良好。

4. 内置温度、过载、压力故障自诊断，异常报警信号可输出给 PLC 系统实现联锁管控。

5. 同系列区分：MUP-E 中等负荷节能款；MUH 为重负荷高耐久款；SDX/SDT 为重污染大负荷 SD 系列干泵。

应用场景

半导体 PVD、灰化、氧化层蚀刻、多晶硅蚀刻；薄膜沉积；轻度腐蚀真空工艺；真空负压反应、真空干燥。

使用注意事项

1. 进气前端建议配置粉尘捕集、溶剂回收组件，固体杂质进入泵腔会造成转子磨损。

2. 冷却水供给保持稳定，水温偏高会造成泵体过热报警停机。

3. 氮气吹扫流量按照工艺气体组分合理设置，抑制可凝气体析出。

4. 横向对比：MUP600E 小抽速节能款；MUP1200E 中大抽速常规半导体工艺款；MUP1800E 更大抽速；SDT1200 为重污染强腐蚀工况机型。