【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MUP600E

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵MUP600E

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 MUP600E 干式螺杆真空泵，MUP-E 系列节能水冷款干泵，无油干式结构，主打半导体中等负荷工艺，节能表现突出，标配氮气吹扫接口，可搭配真空计、真空控制器成套配套使用。

核心参数

• 最大抽速：10000L/min（600m³/h）

• 极限压力：0.5Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～45SLM

• 冷却水流量：2.0L/min

• 稳态功耗：0.8kW

• 外形尺寸：695 (L)×285 (W)×650 (H) mm

• 冷却方式：水冷型

产品特点

1. 低功耗节能机型，同抽速等级能耗更低，适合长时间不间断运行，降低用电成本。

2. 水冷结构，搭配可控氮气吹扫，抑制泵腔内部溶剂、水汽冷凝结晶，抑制轻微腐蚀。

3. 机身紧凑，占地面积小，节省设备布局空间。

4. 内置温度、过载、压力故障诊断，异常信号可输出给 PLC 做联锁保护。

5. 系列区分：MUP-E 常规中等工艺款；MUH 为重负荷高耐久款；SDX/SDT 为重污染大负荷 SD 系列。

应用场景

半导体 PVD、灰化、氧化层蚀刻、多晶硅蚀刻；薄膜沉积；轻度腐蚀真空工艺；真空负压反应、真空干燥。

使用注意事项

1. 进气前端建议配置粉尘捕集、溶剂回收组件，固体杂质进入泵腔会造成转子损伤磨损。

2. 冷却水供给保持稳定，水温偏高会造成泵体过热报警停机。

3. 氮气吹扫流量按照工艺气体组分合理设置，抑制可凝气体析出。

4. 横向对比：MUP600E 节能水冷中等工艺；SDX600 常规工艺 SD 系列干泵；SDE603X 风冷机型，无需冷却水。