【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDE1203X/TX

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDE1203X/TX

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDE1203X/TX 干式螺杆真空泵，SDE 系列大抽速风冷干泵，分为 X 标准版、TX 抗污染强化两个版本，无油干式螺杆结构，自带氮气吹扫接口，极限压力 0.5Pa，适配含有溶剂、粉尘、轻度腐蚀性气体的中试与小型量产工艺，可搭配真空计、真空控制器成套使用。

核心参数

• 最大抽速：20000L/min

• 极限压力：0.5Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 整机功率：2.0kW（X 款）/3.2kW（TX 款）

• 冷却方式：风冷

• 结构类型：多级螺杆干式真空泵，无油设计

• 进气、排气接口：NW 标准法兰

产品特点

1. 双版本可选：SDE1203X 适合洁净、低析出常规工艺；SDE1203TX 转子腔体采用抗污染涂层，耐粉尘、耐溶剂结晶能力更强，适合轻度腐蚀、易析出工况。

2. 风冷结构，无需冷却水，配套管路简单，适合供水条件有限的车间、中试产线。

3. 可控氮气吹扫接口，稀释腐蚀性气体、冲刷泵腔转子间隙沉积物，抑制内部冷凝结晶，延长泵体连续运行周期。

4. 内置温度、过载、压力多重故障自诊断，异常报警信号可输出给 PLC，实现产线联锁保护。

5. 同系列区分：SDE 风冷节能干泵；SD 系列水冷重型工业化干泵；后缀 X 标准款，TX 抗污染强化款。

应用场景

半导体薄膜沉积、PECVD、ALD；化工真空蒸馏、溶剂脱除回收；锂电材料中试制程；真空镀膜；大型真空干燥、负压反应釜工艺。

使用注意事项

1. 进气前端建议加装粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体颗粒直接进入泵腔会造成转子磨损。

2. 存在可凝性气体、腐蚀性气体工况，需要开启氮气吹扫，防止内部结晶、腐蚀。

3. 风冷机型四周预留充足通风空间，散热不良会触发高温报警停机。

4. SDE 系列横向对比：SDE90X 小抽速洁净工况；SDE120TX 小抽速抗污染；SDE200 中抽速；SDE303X/TX 5000L/min；SDE603X/TX 10000L/min；SDE1203X/TX 为 20000L/min 大抽速风冷机型。