【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDH3000*5

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDH3000*5

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDH3000*5 干式螺杆真空泵，SD 系列超耐久旗舰款干泵，无油立式螺杆结构，面向强腐蚀、高密度粉尘、高浓度溶剂蒸气的超严苛连续工艺开发，搭载大功率防冷凝伴热系统、大流量氮气吹扫，耐工艺负荷能力高于 SDT 系列，可搭配真空计、真空控制器组成成套真空系统。

核心参数

• 结构类型：多级立式螺杆干式真空泵，无油型

• 极限压力：0.3Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 整机功率：3.3kW

• 氮气吹扫流量：0～150SLM

• 冷却水流量：4.0L/min

• 防护结构：全腔防腐涂层、多重防沉积转子间隙

产品特点

1. SD 系列最高耐久等级 SDH 机型，转子与腔体采用强化特种防腐涂层，可长期应对高结晶、高粘稠、强酸性 / 碱性工艺废气，抗腐蚀、抗结晶性能优于 SDT 系列。

2. 升级大功率伴热控温系统，全腔均匀控温，最大程度抑制溶剂、水汽冷凝结晶，大幅降低卡泵风险，适合不间断长周期连续产线。

3. 大流量氮气吹扫设计，吹扫点位优化，持续冲刷转子间隙、稀释腐蚀性气体，减少沉积物堆积，拉长维护周期。

4. 内置温度、过载、压力、吹扫流量监测，多重故障自诊断，报警信号可输出 PLC，适配产线联锁保护。

5. 系列区分：SDX 节能标准版；SDT 重载强化款；SDH 超耐久顶配款，应对最恶劣工艺工况。

应用场景

半导体刻蚀、特种薄膜沉积；强腐蚀化工真空蒸馏、高沸点溶剂回收；锂电材料高密度制程；长周期连续负压反应工艺；高结晶、高粉尘真空生产产线。

使用注意事项

1. 进气前端必须配套粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体颗粒直接进入泵腔会造成转子磨损。

2. 根据气体腐蚀程度设置氮气吹扫量，腐蚀越强，所需吹扫流量越高。

3. 冷却水保持稳定供给，水温偏高会造成泵体过热、报警停机。

4. SD 系列横向对比：SDX 常规洁净工况；SDT 重污染工况；SDH3000*5 为 SDH 入门旗舰，面向持续运行、高结晶腐蚀严苛工艺。