【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDH6000*5

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDH6000*5

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDH60005 干式螺杆真空泵，SD 系列旗舰超耐久机型，无油立式螺杆结构，面向强腐蚀、高粉尘、高可凝溶剂、长周期不间断运行的最严苛工艺工况开发，搭载全腔均匀加热防凝系统、大流量多点氮气吹扫，耐负荷、抗结晶性能优于 SDH30005 以及 SDT 全系列，可搭配真空计、真空控制器组成成套真空系统。

核心参数

• 结构类型：多级立式螺杆干式真空泵，无油型

• 极限压力：0.3Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 整机功率：3.7kW

• 氮气吹扫流量：0～150SLM

• 冷却水流量：4.0L/min

• 转子腔体：特种防腐涂层，多重防沉积间隙结构

产品特点

1. SD 系列最高耐久等级型号，转子与腔体采用升级强化防腐涂层，适配强酸性、碱性气体，高浓度结晶物、高密度粉尘工况，长期连续运行下腐蚀速率、沉积物附着速度控制优异。

2. 全域均匀伴热控温，泵腔整体恒温，有效抑制水汽、有机溶剂冷凝析出，大幅度降低转子卡滞风险，适合不间断长周期连续生产。

3. 多点位大流量氮气吹扫，对转子间隙、排气端持续冲刷稀释腐蚀性介质，延缓腐蚀与结晶堆积，拉长维护周期。

4. 内置温度、过载、压力、吹扫流量监测，多重故障自诊断，异常报警信号可输出至 PLC，实现产线联锁保护。

5. 系列区分：SDX 节能标准版；SDT 重载强化款；SDH 超耐久顶配款，面向最高等级严苛工艺。

应用场景

半导体刻蚀、特种薄膜沉积；强腐蚀化工真空蒸馏、高沸点溶剂回收；锂电材料高密度制程；长周期连续负压反应工艺；高结晶、高粉尘真空产线。

使用注意事项

1. 进气前端必须配套粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体颗粒直接进入泵腔会造成转子磨损。

2. 根据工艺气体腐蚀程度合理设定氮气吹扫流量，腐蚀性越强，需要的吹扫流量越高。

3. 冷却水供给保持稳定，水温偏高会造成泵体过热、报警停机。

4. SD 系列横向对比：SDX 常规洁净工况；SDT 重污染工况；SDH30005 中高腐蚀长周期；SDH60005 为 SDH 顶配，应对腐蚀、结晶、粉尘叠加的最严苛连续工艺。