【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDT1800

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDT1800

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDT1800 干式螺杆真空泵，SD 系列超大抽速重载强化款干泵，无油干式螺杆结构，面向超高粉尘、强腐蚀、高溶剂蒸气最严苛工艺工况开发，搭载大功率加热防凝系统，支持大流量氮气吹扫，抗污染、耐腐蚀性能优于 SDX1800，可搭配真空计、真空控制器组成成套真空系统。

核心参数

• 最大抽速：100000L/min

• 极限压力：0.3Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～120SLM

• 冷却水流量：4.0L/min

• 结构类型：多级立式螺杆干式真空泵，无油型

• 整机功率：11kW

• 外形尺寸：1180 (L)×580 (W)×1020 (H) mm

产品特点

1. 转子与腔体采用专用耐腐涂层，针对高密度粉尘、强腐蚀气体、高粘度可凝性气体工况优化，长期连续运行下稳定性优异。

2. 大功率伴热温控，抑制水汽、有机溶剂在泵腔内部冷凝结晶，大幅降低转子卡滞风险。

3. 大流量可控氮气吹扫，持续冲刷转子间隙，稀释腐蚀性介质，延缓腐蚀与沉积物堆积，拉长维护周期。

4. 内置温度、过载、压力多重保护，故障报警信号可输出给 PLC，适配产线联锁控制。

5. 同系列区分：SDX 常规工艺节能款；SDT 重载强腐蚀款；SDH 超大抽速型号。

应用场景

半导体刻蚀、薄膜沉积、PECVD；强腐蚀化工真空蒸馏、溶剂回收；锂电正极材料大型制程；真空镀膜；长周期连续负压反应工艺。

使用注意事项

1. 进气前端必须配套粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体颗粒直接入泵会造成转子磨损。

2. 根据工艺气体腐蚀性合理设定氮气吹扫流量，吹扫不足会加速腔体腐蚀、结晶。

3. 冷却水供给保持稳定，水温超标会触发高温报警停机。

4. 和 SDX1800 对比：SDX1800 适合洁净、轻度污染常规工艺；SDT1800 抽速更大，抗粉尘、耐腐蚀能力更强，为重污染、强腐蚀严苛工况机型。