【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDX1800

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDX1800

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDX1800 干式螺杆真空泵，SD 系列大抽速标准版干泵，立式螺杆无油结构，自带加热防凝组件与氮气吹扫接口，适合半导体、化工、镀膜等含有溶剂、轻微粉尘的中大工艺工况，可搭配真空计、真空控制器组成成套真空系统。

核心参数

• 最大抽速：30000L/min（1800m³/h）

• 极限压力：0.3Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～100SLM

• 冷却水流量：7.0L/min

• 结构类型：多级立式螺杆干式真空泵，无油型

• 整机功率：7.5kW

• 外形尺寸：1050 (L)×515 (W)×950 (H) mm

产品特点

1. 立式紧凑结构，相比同抽速机型占地面积更小，节省产线安装空间。

2. 无油干式设计，无油蒸汽返流污染腔体，废气废液收集简单，减少油品更换维护。

3. 内置伴热温控系统，抑制水汽、有机溶剂在泵腔内部冷凝结晶，降低卡泵风险。

4. 可控氮气吹扫，稀释腐蚀性气体、冲刷转子间隙沉积物，延长泵体运行寿命。

5. 内置温度、过载、压力多重故障自诊断，报警信号可输出至 PLC 联锁系统。

6. 系列区分：SDX 常规工艺节能款；SDT 重载强腐蚀款；SDH 超大抽速型号。

应用场景

半导体薄膜沉积、PECVD、ALD；化工真空蒸馏、溶剂脱除回收；锂电材料制程；大型真空镀膜；工业真空干燥、连续负压反应工艺。

使用注意事项

1. 进气前端建议加装粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体杂质直接进入泵腔会造成转子磨损。

2. 氮气吹扫流量按照工艺气体组分调节，吹扫不足容易造成内部腐蚀、结晶。

3. 冷却水供给保持稳定，水温过高会触发高温报警停机。

4. SD 系列横向对比：SDX600 小抽速；SDX1200 中大抽速；SDX1800 大抽速常规工艺；SDT1800 同规格，抗粉尘、耐腐蚀性能更强，面向重污染严苛工况。