【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDT1200

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDT1200

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDT1200 干式螺杆真空泵，SD 系列重载强化款干泵，无油干式结构，面向高腐蚀、高粉尘、高溶剂含量的严苛工艺开发，搭载强化加热防凝系统，支持大流量氮气吹扫，抗污染能力优于 SDX1200，可搭配真空计、真空控制器组成成套真空系统。

核心参数

• 最大抽速：30000L/min

• 极限压力：0.3Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～120SLM

• 冷却水流量：6.0L/min

• 结构类型：多级螺杆干式真空泵，无油型

• 整机功率：5.5kW

• 外形尺寸：910 (L)×420 (W)×900 (H) mm

产品特点

1. 转子与腔体采用耐腐蚀强化涂层，针对高密度粉尘、强腐蚀气体、高溶剂蒸气工况优化，反复连续运行稳定性更强。

2. 大功率伴热温控，抑制水汽、有机溶剂在泵腔内部冷凝结晶，降低卡泵风险。

3. 大流量可控氮气吹扫，持续冲刷转子间隙，稀释腐蚀性介质，延长泵体维护周期。

4. 内置温度、过载、压力多重保护，故障报警信号可输出至 PLC，适配产线联锁管控。

5. 系列区分：SDX 常规工艺款；SDT 高负荷强腐蚀款；SDH 超大抽速型号。

应用场景

半导体刻蚀、薄膜沉积；强腐蚀化工真空蒸馏、溶剂回收；锂电正极材料制程；真空镀膜；长周期连续负压反应工艺。

使用注意事项

1. 进气前端需要配置粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体颗粒直接进入泵腔会造成转子磨损。

2. 根据工艺气体腐蚀性合理设定氮气吹扫流量，吹扫不足容易加速腔体腐蚀、结晶。

3. 冷却水供给保持稳定，水温超标会触发高温报警停机。

4. 和 SDX1200 对比：SDX1200 适合洁净、轻度污染常规工艺；SDT1200 抽速更大，抗粉尘、耐腐蚀性能更强，为重污染严苛工况机型。