【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDX1200

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDX1200

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDX1200 干式螺杆真空泵，SD 系列中大抽速常规工艺款干泵，无油干式结构，搭载加热防凝组件与氮气吹扫接口，适合半导体、化工、镀膜等含有溶剂、轻微粉尘的工艺工况，可搭配真空计、真空控制器成套使用。

核心参数

• 最大抽速：18000L/min（1080m³/h）

• 极限压力：0.5Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～100SLM

• 冷却水流量：5.0L/min

• 结构类型：多级螺杆干式真空泵，无油型

• 外形尺寸：850 (L)×380 (W)×950 (H) mm

产品特点

1. 无油干式结构，不存在油蒸汽返流污染腔体，废气废液收集简单，省去频繁换油的维护。

2. 内置伴热温控系统，抑制水汽、有机溶剂在泵腔内部冷凝结晶，减少卡泵风险。

3. 可控氮气吹扫结构，稀释腐蚀性气体，冲刷转子间隙沉积物，延长泵体使用寿命。

4. 内置温度、过载、压力多重故障诊断保护，报警信号可输出至 PLC 联锁系统。

5. 同系列区分：SDX 常规工艺款；SDT 高负荷强腐蚀款；SDH 超大抽速型号。

应用场景

半导体工艺、薄膜沉积、真空镀膜；化工溶剂脱除、真空蒸馏；锂电材料制程；工业真空干燥、中试反应釜负压工艺。

使用注意事项

1. 进气前端建议加装粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体杂质直接进入泵腔会造成转子磨损。

2. 氮气吹扫流量根据工艺气体组分调整，吹扫不足容易造成内部腐蚀、结晶。

3. 冷却水保持稳定供给，水温过高会触发高温报警、停机。

4. 和 SDX600、SDT1200 对比：SDX600 小抽速；SDX1200 中大抽速常规工况；SDT1200 同规格尺寸，抗腐蚀耐粉尘性能更强，用于重污染工艺。