【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDT600

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDT600

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDT600 干式螺杆真空泵，SD 系列高负荷强化款干泵，面向超严苛腐蚀、粉尘、高溶剂含量的重工艺工况开发，无油干式结构，搭载强化加热防凝系统，氮气吹扫流量更大，抗污染能力优于 SDX600，可配套真空计、真空控制器组成成套真空系统。

核心参数

• 最大抽速：18000L/min

• 极限压力：0.3Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～120SLM

• 冷却水流量：4.0L/min

• 结构类型：多级螺杆干式真空泵，无油型

• 整机功率：3.0kW

• 外形尺寸：695 (L)×285 (W)×850 (H) mm

产品特点

1. 强化耐腐蚀转子与腔体涂层，适配强腐蚀性工艺气体、大量粉尘、高浓度有机溶剂工况，为 SD 系列超高负荷型号。

2. 大功率伴热温控系统，抑制水汽、溶剂在泵腔内部凝结析出，避免结晶沉积造成卡泵。

3. 大流量可控氮气吹扫，冲刷转子间隙、稀释腐蚀性介质，大幅延长连续运行周期。

4. 内置温度、过载、压力多重保护，故障信号可输出至 PLC，便于产线联锁管控。

5. 系列区分：SDX 常规工艺款；SDT 超严苛重污染款；SDH 为超大抽速型号。

应用场景

半导体刻蚀、特种薄膜沉积；强腐蚀化工真空蒸馏、溶剂回收；锂电正极材料制程；真空镀膜；长周期负压反应工艺。

使用注意事项

1. 进气前端必须配置粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体颗粒直接进入泵腔会造成转子磨损。

2. 根据工艺气体腐蚀性合理设置氮气吹扫量，吹扫不足容易加速腔体腐蚀。

3. 冷却水供给保持稳定，水温超标会触发高温报警停机。

4. 和 SDX600 对比：SDX600 适用于常规洁净或轻度污染工艺；SDT600 抽速更大、抗腐蚀耐粉尘能力更强，适合重污染、强腐蚀严苛工艺。