【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDX600

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵SDX600

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDX600 干式真空泵，属于 SD 系列工艺型干泵，无油干式结构，面向半导体、化工、镀膜等含腐蚀、粉尘、溶剂的严苛工艺开发，内置加热除凝组件，标配氮气吹扫接口，稳定抽取工艺废气，可搭配真空计、真空控制器成套使用。

核心参数

• 最大抽速：10000L/min（600m³/h）

• 极限压力：0.5Pa

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 氮气吹扫流量：0～80SLM

• 冷却水流量：3.0L/min

• 结构类型：多级螺杆干式真空泵，无油设计

产品特点

1. 无油干式结构，不会发生油蒸汽返流污染工艺腔体，废液、废气收集简单，废油处置成本低。

2. 机身自带加热控温系统，抑制溶剂、水汽在泵内部冷凝，适合带可凝性气体工况。

3. 可控氮气吹扫结构，稀释腐蚀性气体、冲刷泵腔沉积物，延长泵体寿命。

4. 内置故障诊断、温度、过载保护，异常信号可对外输出给 PLC 系统。

5. 同系列区分：SDX 标准工艺款；SDT 为高负荷强化款；SDX1200、SDX1800 为更大抽速机型。

应用场景

半导体蚀刻、薄膜沉积工艺；化工溶剂脱除、蒸馏真空；真空镀膜；锂电池材料制程；工业真空干燥、反应釜负压工艺。

使用注意事项

1. 进气前端建议加装粉尘、溶剂捕集组件，大颗粒杂质直接进入泵腔会造成转子磨损。

2. 氮气吹扫流量按工艺气体组分调节，吹扫不足容易腐蚀内部转子。

3. 冷却水需要稳定供给，水温过高会造成泵温超标、报警停机。

4. 和 SDT600 对比：SDX600 为常规工艺工况；SDT600 抽速更大，抗腐蚀、耐粉尘能力更强，适合重污染工艺。