【高斯摩】KOSAKA小坂 ET4000L 微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  ET4000L 微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  ET4000L 微型测量机 日本原装

产品简介

ET4000L 为日本原装大尺寸全自动微细形状测量机，搭载直动式检出器，重点面向大尺寸 FPD 显示基板、大型精密玻璃、大规格晶圆样品，可完成台阶高度、薄膜膜厚、刻蚀深度、微沟槽、表面粗糙度检测，兼容 JIS、ISO 多国测量标准。大行程电动 XY 工作台，支持宏程序 mapping 多点自动测量，解决大尺寸样品多点检测难题，适配显示面板、半导体行业实验室与产线质检工位使用。

核心特点

1.Z 轴测量范围 100μm，Z 向分辨率 0.1nm；X 轴最大扫描长度 100mm，Y 轴工作台行程更大，适配 300×400mm 大尺寸样品；台阶测量再现性 1σ≤0.5nm，标配 R2μm 金刚石触针。 2. 测量力 0.5μN‑500μN 大范围可调，超低测量力模式适配光刻胶、PI 膜等软质易划伤样品，避免探针压伤被测表面。 3. 搭载大承载电动 XY 工作台，支持宏程序存储调用，实现大基板多点位 mapping 连续自动测量；配备 CCD 可视定位系统，直观确认探针与测点位置。 4. 检出器配置碰撞过载保护，探针发生撞击瞬间自动停机，保护金刚石触针与被测工件。 5. 解析功能丰富，支持台阶高度、膜厚、沟槽深度、粗糙度、波纹度评价；选配 3D 解析软件，可做多断面合并与三维形貌分析；可自定义报表模板，数据导出输出 PDF、Excel 检测报告。 6. 花岗岩底座，热膨胀系数低，整机抗振动能力强，大平台可安放大尺寸面板基板，适配各类大型工装夹具。

应用领域

‑光电显示：FPD 液晶基板、光学玻璃、ITO 镀膜基板台阶、膜厚、粗糙度检测 ‑半导体行业：大尺寸晶圆、大型精密载板刻蚀台阶、介质薄膜厚度测量 ‑光学行业：大型光学元件、镀膜玻璃基板微细轮廓与表面质量检测 ‑硬盘存储：大尺寸磁盘盘片薄膜台阶、微观粗糙度检测 ‑科研计量：高校实验室、计量机构大尺寸试样微纳形貌比对分析

使用注意事项

1. 被测样品表面清理干净，去除粉尘、碎屑，防止划伤金刚石触针。 2. 设备放置恒温减振环境，震动、温度波动会带来纳米级别测量误差。 3. 定期使用台阶标准片、粗糙度标准片校验设备，保障测量数据可靠。 4. 运行自动宏程序，合理设置安全避让高度，避免探针撞击工件棱角。 5. 金刚石触针属于精密损耗件，定期检查磨损状态，磨损超标及时更换。 6. 检出器探针组件严禁摔落磕碰，搬运主机做好防护。 7. 长期停机做好防尘防护，定期对导轨、传动机构开展维护保养。

凭借卓越的精度、稳定性和功能性，这款全自动微型测量机非常适合测量FPD基板、晶圆、硬盘等的细微形状、步进和粗糙度。 你还可以从多种型号中选择，以满足你的需求。

• ET4000A......多功能全自动微型测量机

• ET4000L......全自动微型测量机，能处理大尺寸

• ET4300......全自动细型测量机，可全尺寸测量300毫米晶圆