【高斯摩】KOSAKA小坂 ET4000A 微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  ET4000A 微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  ET4000A 微型测量机 日本原装

产品简介

ET4000A 为日本原装全自动微细形状测量机，搭载直动式检出器，可完成台阶高度、薄膜膜厚、刻蚀深度、微沟槽、表面粗糙度检测，兼容 JIS、ISO 多国测量标准。配备全自动 XYΘ 电动工作台，支持晶圆多点 mapping 自动测量，可扩展 3D 形貌解析功能，兼顾半导体产线批量质检与实验室纳米级精密分析，是探针式台阶轮廓检测主流设备。

核心特点

1.Z 轴测量范围 100μm，Z 向分辨率 0.1nm；X 轴最大扫描长度 100mm，X 轴直线度 0.005μm/5mm；测量再现性 1σ≤0.5nm；测量力 0.5μN‑500μN 大范围可调，标配 R2μm 金刚石触针。 2. 全自动 XYΘ 电动工作台，可完成样品平移、旋转定位；支持宏程序存储调用，实现晶圆多点位 mapping 连续自动测量，大幅提升大批量样品检测效率。 3. 检出器配置碰撞过载保护，触针发生撞击瞬间自动停机，保护金刚石探针与被测样品；搭载 CCD 可视观测系统，直观观察探针与样品测点位置。 4. 可解析台阶高度、薄膜厚度、沟槽深度、粗糙度、波纹度等参数；选配 3D 解析软件，实现多断面合并生成三维形貌云图；报表模板可自定义，测量数据导出输出 PDF、Excel 检测报告。 5. 样品最大尺寸 210×210mm，可兼容 8 英寸晶圆，可拓展更大工作台适配大尺寸基板样品；花岗岩底座，热膨胀系数低，整机运行稳定性优异。

应用领域

‑半导体行业：晶圆刻蚀台阶、介质薄膜厚度、布线沟槽、钝化层形貌检测 ‑先进封装：芯片凸点高度差、保护层台阶、微结构轮廓测量 ‑MEMS 器件：微流道、微型传感器微细台阶、沟槽深度检测 ‑光电显示：FPD 玻璃基板、光学镀膜基板、光刻胶台阶高度测量 ‑硬盘存储：磁盘盘片薄膜台阶、微观表面粗糙度检测 ‑科研计量：高校实验室、计量机构微纳试样形貌比对分析

使用注意事项

1. 被测样品表面清理干净，去除粉尘、碎屑，防止划伤金刚石触针。 2. 设备放置恒温减振环境，震动、温度波动会带来纳米级别测量误差。 3. 定期使用台阶标准片、粗糙度标准片校验设备，保障测量数据可靠。 4. 运行自动宏程序，合理设置安全避让高度，避免探针撞击样品棱角。 5. 金刚石触针属于精密损耗件，定期检查磨损，磨损超标及时更换。 6. 检出器探针组件严禁摔落磕碰，搬运主机做好防护。 7. 长期停机做好防尘，定期对导轨、传动机构开展维护保养。

凭借卓越的精度、稳定性和功能性，这款全自动微型测量机非常适合测量FPD基板、晶圆、硬盘等的细微形状、步进和粗糙度。 你还可以从多种型号中选择，以满足你的需求。

• ET4000A......多功能全自动微型测量机

• ET4000L......全自动微型测量机，能处理大尺寸

• ET4300......全自动细型测量机，可全尺寸测量300毫米晶圆