【高斯摩】KOSAKA小坂 ET200A-D 微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  ET200A-D 微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  ET200A-D 微型测量机 日本原装

产品简介

ET200A‑D 是日本原装微细形状测量机，在 ET200A 基础搭载电动 Y 轴工作台，直动式检出器消除杠杆摆动产生的系统误差，可完成二维轮廓、台阶高度、薄膜厚度、微沟槽、表面粗糙度检测，同时支持多断面扫描实现简易 3D 形貌解析，兼容 JIS、ISO 国际标准，适合半导体、光电、MEMS 行业小尺寸精密样品高精度检测。

核心特点

1.Z 轴测量范围 600μm，Z 向分辨率 0.1nm；X 轴最大扫描长度 100mm，X 轴直线度 0.2μm/100mm；测量再现性 1σ 可达 0.3nm 以内，标配 R2μm 金刚石触针。 2. 配备电动 Y 轴工作台，可实现多断面自动连续扫描，完成截面数据合并与 3D 形貌解析，适合大批量样品连续检测。 3. 测量力 10μN‑500μN 可调，低测量力档位适配光刻胶、PI 膜等软质易划伤工件，避免探针压伤样品表面。 4. 搭载 CCD 可视定位功能，直观查看触针与样品位置，降低操作失误；检出器碰撞过载自动停机，保护金刚石触针与被测样品。 5. 样品工作台最大可放置 Φ160mm 样品，厚度 52mm，最大承载 2kg；花岗岩底座，热膨胀系数低，整机运行稳定性高。 6. 支持宏程序存储调用，一键执行重复测量；评价参数包含台阶高度、膜厚、Ra、Rz、波纹度等；数据可导出，自定义输出 PDF、Excel 格式检测报告。

应用领域

‑半导体行业：硅片刻蚀台阶、介质薄膜厚度、布线沟槽、钝化层形貌检测 ‑先进封装：芯片保护层台阶、微凸点高度差、微型结构轮廓测量 ‑MEMS 器件：微流道、微型传感器微细轮廓、台阶高度检测 ‑光电显示：FPD 基板、光学镀膜基板、光刻胶台阶检测 ‑硬盘存储：磁盘盘片微观粗糙度、薄膜台阶检测 ‑科研计量：高校实验室、计量机构纳米试样形貌比对分析

使用注意事项

1. 被测样品表面清理干净，去除粉尘、碎屑，防止划伤金刚石触针。 2. 设备安置在恒温减振环境，震动、温度漂移会影响纳米级别测量精度。 3. 定期使用台阶标准片、粗糙度标准片校验设备，保证测量数据可靠。 4. 编辑自动测量程序，合理设置安全避让高度，避免探针撞击样品棱角。 5. 金刚石触针属于精密损耗件，定期检查磨损，磨损超标及时更换。 6. 检出器探针组件禁止摔落、磕碰，搬运设备做好防护。 7. 长期停机做好防尘，定期对导轨、传动机构开展维护保养。

非常适合二维表面粗糙度分析和阶梯测量，具备高精度、高分辨率和优异稳定性，同时支持具备微测量能力的软样品表面。

• ET200A......非常适合表面粗糙度分析和阶梯测量
• ET200A-D......配备电动Y轴单元
• ET200A-3D：非常适合三维表面粗糙度分析和阶梯测量