【高斯摩】KOSAKA小坂 ET200A 微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  ET200A 微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  ET200A 微型测量机 日本原装

产品简介

ET200A 为日本原装台式微细形状测量机，采用直动式检出器结构，消除杠杆摆动带来的系统误差，专注纳米级台阶高度、薄膜膜厚、微沟槽、表面粗糙度检测，兼容 JIS、ISO 多国测量标准。可选购电动 Y 轴升级为 ET200A‑D，加装组件实现 3D 形貌解析，适合半导体、光电、MEMS 领域实验室高精度样品检测，软质薄膜样品也可开展接触式测量。

核心特点

1.Z 轴测量范围 600μm，Z 向分辨率 0.1nm；X 轴最大扫描长度 100mm，X 轴直线度 0.2μm/100mm；测量再现性 1σ 控制在 0.3nm 以内，标配 R2μm 金刚石触针。 2. 测量力可在 10μN‑500μN 之间调节，低测量力模式适配光刻胶、PI 膜等易划伤软质样品，避免探针压损被测表面。 3. 配置 CCD 可视定位，屏幕直观观察金刚石触针位置，方便测点定位；检出器具备碰撞自动停止保护，防止探针撞击工件造成损坏。 4. 样品工作台 Φ160mm，支持 360° 手动旋转，样品最大尺寸 Φ160mm，厚度 52mm，最大承载 2kg；基础机型 Y 轴手动移动，可选配电动 Y 轴工作台实现多断面连续扫描。 5. 软件支持台阶高度、膜厚、粗糙度、波纹度等多类评价参数；支持宏程序存储调用，实现重复批量测量；测量数据可导出，自定义输出检测报表。 6. 整机花岗岩底座，低热膨胀，设备运行稳定性强。

应用领域

‑半导体行业：硅片刻蚀台阶、介质薄膜厚度、钝化层、布线沟槽形貌检测 ‑先进封装：芯片保护层台阶、微结构高度差测量 ‑MEMS 器件：微流道、微型传感器元件微细轮廓与台阶检测 ‑光电显示：FPD 基板、光学镀膜基板、光刻胶台阶高度检测 ‑硬盘存储：磁盘盘片表面微观粗糙度、薄膜台阶检测 ‑科研计量：高校实验室、计量机构纳米试样形貌分析比对

使用注意事项

1. 被测样品表面清理干净，去除粉尘颗粒、碎屑，防止划伤金刚石触针。 2. 设备放置恒温减振环境，震动、温度波动会直接影响纳米级测量精度。 3. 定期使用台阶标准片、粗糙度标准片完成设备校验，保障数据可靠性。 4. 设置测量程序合理配置安全避让高度，禁止探针硬撞击样品棱角。 5. 金刚石触针属于精密损耗件，定期检查磨损，磨损超标及时更换。 6. 检出器探针组件严禁摔落磕碰，搬运设备做好防护。 7. 长期停机做好防尘，定期对导轨、传动机构开展维护保养。

非常适合二维表面粗糙度分析和阶梯测量，具备高精度、高分辨率和优异稳定性，同时支持具备微测量能力的软样品表面。

• ET200A......非常适合表面粗糙度分析和阶梯测量
• ET200A-D......配备电动Y轴单元
• ET200A-3D：非常适合三维表面粗糙度分析和阶梯测量