【高斯摩】KOSAKA小坂 NT1520微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  NT1520微型测量机 日本原装

【高斯摩】KOSAKA小坂  NT1520微型测量机 日本原装

产品简介

NT1520 为日本原装直动式纳米接触式微型形貌测量机，采用无支点直动检出结构，消除传统杠杆式机构带来的角度误差，专注台阶高度、薄膜厚度、微沟槽、微观轮廓检测，可兼容 4/6/8 英寸晶圆样品，不依赖样品光学特性，测量数据可溯源，广泛用于半导体、MEMS、光学薄膜领域纳米级工艺品质检测。

核心特点

1. 独有的直动式检出器，无支点摆动结构，测量再现性 1σ 控制在 0.3nm 以内；Z 轴测量范围 1300μm，Z 向分辨率 0.1nm，X 轴 0.01μm，Y 轴 0.1μm，兼顾纳米级薄膜与微米级厚台阶检测。 2.X、Y 双轴电动工作台，工件无需重新装夹即可完成多方向扫描；支持宏程序自动测量，可存储多套测量配方，实现晶圆多点位批量检测，缩短检测节拍。 3. 测量力可调，标准 30μN‑600μN，可选配低至 0.5μN 测量力，适配光刻胶、软镀膜等易划伤工件；可更换多规格金刚石触针，适配不同样品工况。 4. 可解析台阶高度、膜厚、沟槽深度、表面粗糙度等参数；数据可导出，自定义报表，输出 PDF、Excel 检测报告。 5. 样品承载最大 Φ220mm，厚度 10mm，兼容 4、6、8 英寸晶圆，适配各类薄片基板样品安放。 6. 检出器具备碰撞过载保护，触针撞击瞬间停机，保护金刚石探针与被测样品。

应用领域

‑半导体行业：晶圆刻蚀沟槽、布线台阶、介质薄膜厚度、钝化层形貌检测 ‑先进封装：芯片凸点高度差、保护层台阶、微结构轮廓测量 ‑MEMS 器件：微流道、传感器元件微观形貌、台阶高度检测 ‑光学镀膜：光学基板镀膜台阶、光刻胶厚度评价 ‑科研院校：实验室微纳试样分析，计量比对参考设备

使用注意事项

1. 样品表面清理干净，去除粉尘颗粒，防止划伤金刚石触针。 2. 设备需放置恒温、无振动环境，环境震动会直接影响纳米级别测量精度。 3. 定期使用纳米标准片开展校验，保证台阶高度、膜厚测量数据可靠。 4. 设置自动测量程序时合理配置安全避让高度，避免探针撞击样品棱角。 5. 金刚石触针属于精密易损耗件，定期检查磨损，磨损超标及时更换。 6. 检出器探针组件禁止摔落、磕碰，搬运设备做好防护。 7. 长期停机做好防尘，导轨传动机构按照周期开展维护保养。

非常适合自动测量配方，如胶片厚度和阶梯测量！

• 广域探测器......1300微米

• X轴和Y轴测量......不需要重新定位工件。 这会降低分寸性。

• 线性动作探测器......用世界上唯一的结构实现高精度和可重复性。