【高斯摩】YAMABUN 山文电气 桌面离线光谱干涉厚度测量装置TOF-S
【高斯摩】YAMABUN 山文电气 桌面离线光谱干涉厚度测量装置TOF-S【高斯摩】YAMABUN 山文电气 桌面离线光谱干涉厚度测量装置TOF-S产品简介TOF‑S 为 TOF 系列光学非接触台式测厚设备，采用光谱分光干涉反射原理，仅单侧光纤探头即可完成检测，不需要上下对射光路，全程非接触无压力，不会划伤、挤压超薄高价值透明试样。支持单点测量与长条试样连续扫描，可解析最多 3 层透明复合膜各分层
【高斯摩】YAMABUN 山文电气 桌面离线光谱干涉厚度测量装置TOF-S
【高斯摩】YAMABUN 山文电气 桌面离线光谱干涉厚度测量装置TOF-S
产品简介
TOF‑S 为 TOF 系列光学非接触台式测厚设备，采用光谱分光干涉反射原理，仅单侧光纤探头即可完成检测，不需要上下对射光路，全程非接触无压力，不会划伤、挤压超薄高价值透明试样。支持单点测量与长条试样连续扫描，可解析最多 3 层透明复合膜各分层厚度，输出分层厚度数据与厚度分布曲线。主要用于光学显示、半导体、新能源材料实验室研发、来料抽检，该机型结构也可改造为产线在线监测设备。
核心规格
型号：TOF‑S
测量原理：光谱分光干涉，单侧反射型非接触测量
被测对象：透明 / 半透明平滑薄膜、多层复合光学膜、透明功能性涂层、光刻胶；仅适用于透明材质
测量量程：薄物模式 1‑50μm；厚物模式 10‑150μm
最小显示分辨率：0.001μm
测量光斑：φ0.6mm 微小光斑，支持微区局部测点
探头间隙：约 30mm，样品与探头无物理接触
扫描试样长度：50‑5000mm
采样间距：最小 1mm 可调
可解析层数：最多 3 层透明膜分层厚度
电源：AC100V 50/60Hz，配套独立光源控制器
数据输出：USB，CSV 报表、厚度曲线、分层厚度数据导出
工作环境：5‑45℃，单次测量温度波动≤1℃，湿度 35‑80% RH，无结露
结构形式：桌面台式离线装置
产地：日本原装
主要特点
完全非接触无损检测，无测头挤压，超薄软质光学膜不会产生形变损伤，保护贵重样品。
单侧反射测量，无需样品背面光路，样品装夹简便。
可解析最多 3 层透明复合膜，获取每层独立厚度，满足多层膜配方研发需求。
φ0.6mm 微小光斑，可针对局部涂层、标记区域做微区厚度检测。
测量重复性优异可达 ±0.01μm 以内（视试样与工况），温度漂移抑制效果好。
支持单点快速测量、长距离连续扫描，自动统计最大、最小、平均值、标准差。
无射线，台式放置，实验室质检室直接使用；可定制改造为在线机型适配产线。
可选计量溯源证书，满足 ISO 质量体系审核校验。
应用领域
显示光学：PI 补偿膜、偏光片、离型膜、AR/AG 透明功能涂层研发与来料检测。
半导体行业：光刻胶厚度、透明封装涂层、光学保护膜离线标定。
新能源材料：光伏减反涂层、太阳能透明封装薄膜实验室测试。
新材料研发：多层透明复合高分子膜分层厚度分析。