【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 真空沉积设备HSV-8-50
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 真空沉积设备HSV-8-50【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 真空沉积设备HSV-8-50一、产品简介HSV‑8‑50 为中型电阻加热式真空蒸镀沉积设备，采用水冷 SUS304 不锈钢真空腔体，配置基板公转机构与基板加热功能，阀门自动控制。兼顾科研实验与中小批量试样镀膜生产，可蒸镀铝、铬等多种金属薄膜，支持选配电子束蒸发、膜厚监控模块。二、核心规格
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 真空沉积设备HSV-8-50
【高斯摩】日本原装 SATOVAC 佐藤 真空沉积设备HSV-8-50
一、产品简介
HSV‑8‑50 为中型电阻加热式真空蒸镀沉积设备，采用水冷 SUS304 不锈钢真空腔体，配置基板公转机构与基板加热功能，阀门自动控制。兼顾科研实验与中小批量试样镀膜生产，可蒸镀铝、铬等多种金属薄膜，支持选配电子束蒸发、膜厚监控模块。
二、核心规格参数
腔体规格：φ500×H500mm，水冷 SUS304 不锈钢腔室
极限压力：10⁻⁴Pa 级别
蒸发源电极：2 对，20V，最大 200A
内部机构：快门机构、电阻加热机构、基板公转机构
基板加热：最高 300℃
主泵：8 英寸油扩散泵
辅助泵抽速：500L/min
主阀规格：8 英寸
阀门操作方式：自动控制
三、产品特点
水冷不锈钢腔体，腔体热稳定性好，适合长时间连续镀膜作业。
搭载基板公转与基板加热，提升膜层均匀性，改善薄膜附着力。
自动阀组流程控制，减少人为操作失误，工艺重复性好。
电阻蒸发为主，可拓展电子束蒸发、膜厚监测组件，适配多样镀膜需求。
腔体容积更大，单次可处理多件样品，满足小批量生产需求。
日本原装成套设备，真空系统匹配成熟，维护拆装腔体部件便捷。
四、应用领域
高校科研院所：材料薄膜研究、光学试样金属蒸镀实验。
光学行业：光学镜片、光学元器件金属膜层制备。
电子行业：元器件、半导体试样表面蒸镀金属导电薄膜。
新材料研发：各类基材表面金属薄膜沉积工艺试验。
通用工艺：中小批量样品电阻加热真空蒸镀处理。