OTSUKA 大塚电子 嵌入式膜厚检测仪
OTSUKA 大塚电子 嵌入式膜厚检测仪OTSUKA 大塚电子 嵌入式膜厚检测仪一、基础信息测量原理：分光干涉法 / 光谱反射解析法，非接触无损检测结构形式：分体模块化设计，分为光学检测头、信号处理单元、控制单元安装方式：侧装、顶装、机架内嵌，适配各类流水线设备供电：工业标准电压通讯接口：LAN、USB、数字 IO，可对接上位机与 PLC 控制系统工作环境：适配工业车间，具备防尘、抗轻微震动设计二
OTSUKA 大塚电子 嵌入式膜厚检测仪
OTSUKA 大塚电子 嵌入式膜厚检测仪
一、基础信息
测量原理：分光干涉法 / 光谱反射解析法，非接触无损检测结构形式：分体模块化设计，分为光学检测头、信号处理单元、控制单元安装方式：侧装、顶装、机架内嵌，适配各类流水线设备供电：工业标准电压通讯接口：LAN、USB、数字 IO，可对接上位机与 PLC 控制系统工作环境：适配工业车间，具备防尘、抗轻微震动设计
二、技术参数
测量光斑：可选 φ3μm~φ40μm 多规格膜厚测量范围：可搭配不同光学模块，覆盖 1nm~92μm重复精度：≤±0.1nm~±0.1μm（依选配模块而定）单点点位测量时长：≤1 秒光谱波段：可选紫外、可见、近红外多种配置解析能力：支持单层及多层薄膜结构分析，可同步输出折射率、消光系数
三、产品特点
模块化设计，结构小巧，不占用产线有效空间，适配狭小安装工位。
集成兼容性强，可对接卷对卷产线、晶圆自动化设备、检测治具、机械手等各类工业设备。
检测速度快，满足产线高速流转节拍，实现不间断实时监测。
非接触式检测，不会划伤样品表面，适用于柔性膜、软质涂层、高价值基材。
运行稳定性高，具备温漂补偿、抗干扰能力，可 24 小时连续在线作业。
功能灵活，可根据检测材质、膜厚范围更换光学模块，适配多种检测需求。
数据可实时上传、报警输出，便于产线异常预警与数据追溯。
四、应用场景
光学薄膜产线：涂布膜、偏光片、增透膜、保护膜生产过程膜厚在线监控。
半导体行业：晶圆镀膜、光刻胶、氧化层、外延层在线点位检测。
显示面板：ITO 膜、有机膜、光学胶、彩色滤光片制程品质监测。
精密光学元件：透镜、棱镜镀膜，微型光学器件批量检测。
柔性材料：PI、PET 等柔性基板涂层厚度实时管控。
五、使用规范
安装位置避开强光源、粉尘堆积区与剧烈震动源，保证光路通畅。
光纤与光学检测头严禁大力弯折、磕碰，定期清理镜头表面灰尘。
模块更换、参数设定由专业人员操作，勿随意修改系统参数与报警阈值。
定期使用标准试片完成校准，保证长期测量精度。
长期停机时做好防尘防护，切断设备供电。
六、使用方法
完成机械安装与线路连接，接通电源及通讯线路，启动设备完成自检。
根据样品参数选定对应光学模块与测量程序，完成参数设定。
产线启动后，设备自动对经过工位的样品进行定点检测。
实时查看测量数据，出现异常时设备自动触发报警信号。
生产结束后，依次关停设备、切断电源，清洁光学部件。