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【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL2

【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL2【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL2一、产品概述CFL2 是低差压自力式稳流阀,为 CFL 系列第二款型号,和 CFL1 同为低压降专用阀体。CFL1 用于上游压力波动工况,CFL2 适配后端负载压力频繁变化、气源压差偏低的管路。依靠内部膜片机械结构自动补偿压差,全程无需供电,即可锁定设定流量。常搭配 MV1/MV2 微阀、M

【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL2

【高斯摩】OHKURA大仓 高性能流量控制阀 CFL2




一、产品概述

CFL2 是低差压自力式稳流阀,为 CFL 系列第二款型号,和 CFL1 同为低压降专用阀体。CFL1 用于上游压力波动工况,CFL2 适配后端负载压力频繁变化、气源压差偏低的管路。依靠内部膜片机械结构自动补偿压差,全程无需供电,即可锁定设定流量。常搭配 MV1/MV2 微阀、MF1100B/MF5100B 质量流量计组合使用,用于低压工况下高纯气体、微量洁净液体精密控流,适配半导体、实验室、锂电、环保检测等高洁净工艺。

二、核心规格

  1. 流量范围

    多细分规格覆盖 10mL/min~30000mL/min,流量控制精度稳定在设定值 ±2%;以氮气标定,兼容氩气、氦气、氧气、二氧化碳以及无腐蚀洁净液体。

  2. 压力与压差特性

    核心优势为低运行压降,适配现场供气压差不足的场景;最高工作压力 490kPa,耐压 784kPa;阀体集成手动微调针阀,调节无迟滞,重复调节流量误差小。

  3. 材质与耐温

    两种阀体可选:铝合金款最高使用温度 80℃,成本更低;SUS316 不锈钢款耐温 110℃,可耐受轻微腐蚀性介质。内部密封采用无油 PTFE 膜片,无油脂析出,不会污染高纯工艺介质。

  4. 管路接口

    小流量规格 Rc1/8 内螺纹,中大流量规格 Rc1/4 内螺纹,匹配标准卡套洁净管路,支持柜体集成、面板嵌入式安装。

  5. 使用环境

    介质及环境温度 5~45℃,环境湿度 10%~90% RH、无凝露;阀体抗振动、抗管路启停压力冲击,可 7×24 小时持续稳定运行。

三、产品优势

  1. 低压降 + 补偿后端压力波动双重特性,气源压差不足且反应腔、吸附设备后端压力变化的工况下,CFL1、CF1、CF2 均无法适配,本型号可实现稳定控流。

  2. 纯机械自力式结构,无需外接电源与控制信号,安装后自动稳流,简化整套气路与电控配置,降低配套仪表成本。

  3. 双材质机身可选,兼顾经济型、耐高温、防腐多重需求,适配多种工艺介质。

  4. 全内部无润滑脂构造,满足半导体、锂电池等高洁净生产标准,避免介质污染造成产品不良。

  5. 微调手轮分辨率高,多次开关、反复调节后流量重复性优异,保证批量生产工艺参数统一。

  6. 机身小巧紧凑,多阀体集中排布时节省气柜内部空间,方便设备成套集成。

  7. 可与质量流量计、精密微阀串联配套,流量监测信号可接入控制器、记录仪留存完整工艺数据,满足生产溯源、合规审核要求。

四、适用行业场景

低压气源半导体镀膜、刻蚀配气管路;实验室低压气相分析仪器微量载气供给;锂电池烧结、烘烤低压惰性保护气管路;环保气体标定、在线监测低压管线;小型真空反应装置、低压微量洁净液体输送设备。


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