【高斯摩】OHKURA大仓 质量流量计 MF5100B

一、产品概述

二、核心规格

1. 流量量程

   全系量程 5SCCM～400SLM，量程范围远大于 MF1100B；可控区间为满量程 2%～100%，出厂以氮气标定，支持氢气、氧气、氩气、氦气、二氧化碳等多种工业气体切换，内置气体换算系数。

2. 精度与响应性能

   线性度≤±0.5% FS，重复性≤±0.2% FS，基础测量精度优于经济型 MF1100B；温度漂移 0.05%/℃，长时间连续工作数值不易偏移；流量响应时间不超过 3 秒，快速稳定到设定区间。

3. 压力与密封指标

   最高工作压力 1.0MPa，耐压 1.5MPa；氦气检漏泄漏率达 1.013×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，满足超高洁净、真空工艺密封标准；管路压力损耗低，不会干扰供气系统压力平衡。

4. 分段智能软启动

   搭载三段式可调软启动，最长缓冲时长 70 秒；上电、修改流量参数、外部阀门复位三种场景均可触发平缓供气，避免瞬时气流冲击腔体造成工艺缺陷。

5. 结构与电气参数

   供电 DC15V；0~5V 设定输入、0~5V 流量反馈输出；机身安装无角度限制，任意姿态安装测量误差仅 ±0.5% FS；气路采用 SUS316 不锈钢搭配高纯氟橡胶密封，可选 1/4 卡套接头、VCR 超高洁净接头，标配常闭阀体。

6. 使用环境

   介质与环境温度 5～45℃，环境湿度 10%~90% RH，无凝露；适用于无粉尘、无强腐蚀性气体工况，支持全天 24 小时不间断运行。

三、产品优势

1. 流量覆盖区间广，微量、中大流量工艺可统一选用本系列，不用搭配多款流量计，降低备件库存种类与采购成本。

2. 低泄漏高洁净气路结构，密封等级优于 MF1100B，适配半导体镀膜、刻蚀、光伏薄膜沉积等对气体纯度要求严苛的工序。

3. 智能分段软启动，可根据不同工艺腔体需求调节缓冲时长，大幅减少气流冲击导致的产品不良，提升成品合格率。

4. 长期运行稳定性强，温漂、时漂控制优异，长时间生产无需频繁校准，减少设备停机维护频次。

5. 标准电压信号输出，可直接接入大仓全系配套仪表，流量数据实时采集、记录、归档，完整留存工艺曲线，满足行业生产溯源审核要求。

6. 机身结构紧凑，多台气路集中控制柜内可密集排布，节省电控与气柜安装空间。

四、适用行业场景