在芯片制造这个神秘又高端的领域里,每一个细微的变化都可能影响着整个行业的走向。

今天咱们就来聊聊切割刀片规格的变化,这背后可是藏着不少芯片制造的新趋势呢。


一、当前切割刀片规格(Saw Blade Spec)详情

(一)晶圆切割刀片(wafer sawing blade)

目前市场上多家供应商提供的晶圆切割刀片规格具有一定相似性。例如 DISCO 的两款刀片 “27HDDD(NBC - DH204J - 27HDDD)

” 和 “DH05 - SD3500 - N1 - 50 - N1366 DD”,以及 EHWA 的多款刀片(HE3580 - LBC5、HS3580 - SC5、HC3580 - LBC5),

厚度均在 30 - 35μm。曝光(Exposure)方面,DISCO 刀片为 760 - 890μm,EHWA 刀片为 800 - 900μm。外径(O D)和内径(I D)上,

不同供应商的刀片也有各自的范围,如 DISCO 部分刀片外径在 55.53 - 55.59μm,内径在 19.025 - 19.075μm;

EHWA 部分刀片外径在 55.52 - 55.60μm,内径在 19.051 - 19.059μm 。

(二)FBGA 基板分割刀片(FBGA Substrate Singulation)

  1. 有轮毂类型(Hub Type):Fine Int'l 的两款刀片 “56MH1015/S4 - 245/2.5” 和 “56MH1015/S4 - 265/2.5”,

  2. 厚度分别为 240 - 255μm 和 260 - 275μm,曝光最小为 2.50mm,外径最小为 56.00mm,内径在 19.054 - 19.059μm。


  3. 无轮毂类型(Hubless Type):涉及多个供应商,如 Fine 的 BRS76.2 - 265 - 3040、BP56 - 260 - 3040,Disco 的 MBT - 3717SD360L50MT38,ITI 社的多款产品

  4. 以及 EHWA 的 SDR IP2Q2 80 MB - C 等。这些刀片厚度大多在 250 - 280μm 这个区间,外径和内径也各有不同范围,如部分刀片外径最小为 56.00mm 或 76.10mm,

  5. 内径在 40.000 - 40.035mm 或 40.000 - 40.025mm。同时还提到在特殊情况下,Regrinding model 是将 3 inch 刀片重新加工成 2 inch 刀片的产品。

二、计划更改的切割刀片规格详情

(一)晶圆切割刀片(wafer sawing blade)

更改后,DISCO 的刀片厚度依然在 0.030 - 0.035mm(即 30 - 35μm),外径在 55.54 - 55.58mm,内径在 19.050 - 19.055mm,

曝光在 0.76 - 0.89mm。EHWA 的 HP3575 - SC1 和 HS3580 - SC5 刀片也在更改范围内,但具体规格未详细列出。

(二)FBGA 基板分割刀片(FBGA Substrate Singulation)


  1. 有轮毂类型(Hub Type):

  2. FINE 的 56MH1015 265/2.5 S4 刀片,厚度为 0.260 - 0.275mm,外径在 56.00 - 56.10mm,内径在 19.054 - 19.059mm。


  3. 2 英寸无轮毂类型(2Inch Hubless Type):

  4. EHWA 的 SD KIC 50 MB2 - C 和 SDR IP2Q2 80 MB - C、FINE 的 FM58 - 275 - 325C、DISCO 的 MBT - 3717SD360L50MT38 等刀片,

  5. 厚度大多在 0.270 - 0.290mm,外径在 58.90 - 59.10mm 或 58.00 - 58.20mm,内径在 40.000 - 40.050mm 或 40.000 - 40.025mm。


  6. 3 英寸无轮毂类型(3Inch Hubless Type):EHWA 的 SD KQ 60 MB2 - C、ITI 的 168003025 等刀片,厚度在 0.255 - 0.275mm,

  7. 外径在 77.90 - 78.10mm 或 76.200 - 76.454mm,内径在 43.030 - 40.050mm 或 40.000 - 40.025mm。同时提到有轮毂类型曝光将在 2.500 - 2.700mm。


从这些规格变化中,我们可以推测芯片制造行业可能在追求更高的切割精度,不同类型的刀片规格在不断优化调整以适应可能变化的芯片制造需求。

比如在尺寸上更加精确的范围设定,可能有助于提高芯片切割的质量和效率。对于芯片制造企业来说,需要密切关注这些规格变化,

及时调整生产流程和设备参数,以保证产品质量和生产效率。