【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL36E60

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL36E60

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDL36E60 干式螺杆真空泵，SDL 系列大容量机型，面向大尺寸晶圆、FPD 面板大型 Load Lock 锁仓场景开发，无油干式结构，大气抽速大、抽气节拍短，稳定提供高洁净真空环境。

核心参数

• 最大抽气速度：60000 L/min

• 前级泵最大抽速：10000 L/min

• 极限压力：0.8 Pa（未开启氮气吹扫）

• 电源：三相 AC200～220V / 380～440V（50/60Hz）

• 外形尺寸：1370mm×600mm×1295mm

• 整机重量：920 kg

• 可选配置：氮气吹扫组件

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，满足半导体、面板等高洁净制程标准

2. 超大抽气能力，适配大型腔体锁仓，显著缩短抽真空循环节拍，提升产线产能

3. 一体化集成单元，自带控制回路，现场调试、产线对接便捷

4. 转子非接触运转，自身产尘低，降低晶圆、基板污染风险

5. 搭载运行状态监测接口，支持接入上位系统，远程监控参数与报警信息

6. 适配 24 小时连续量产工况，长时间运行稳定性优异

应用场景

大尺寸半导体晶圆 Load Lock 锁仓、FPD 平板显示真空腔体、大型光学镀膜设备、大型真空检测装置等大腔体快速抽真空洁净制程。

使用注意事项

1. 氮气吹扫压力、流量严格按照铭牌参数设定，抑制水汽、工艺副产物沉积

2. 进气侧建议加装前置粉尘过滤器，保护泵内转子组件

3. 供电回路配置稳压、缺相、过载保护，防止异常供电损坏设备

4. 按保养周期点检吹扫管路、密封件、散热系统，及时更换损耗件

5. 控制进气负载，避免长期在高压区间持续运行