【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL12E50

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDL12E50

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDL12E50 干式螺杆真空泵，属于 SDL 系列大抽速干式泵，专门面向半导体锁仓（Load Lock）工况开发，无油结构，抽气效率高、循环节拍短，稳定提供洁净真空环境。

核心参数

• 最大抽气速度：25000 L/min

• 前级泵最大抽速：8000 L/min

• 极限压力：0.8 Pa（未开启氮气吹扫）

• 电源：三相 AC200～220V / 380～440V（50/60Hz）

• 外形尺寸：1000mm×520mm×1050mm

• 整机重量：645 kg

• 可选配置：氮气吹扫组件

产品特点

1. 无油干式结构，无油雾污染，保障晶圆制程洁净等级

2. 针对 Load Lock 锁仓快速抽气设计，缩短腔体抽真空节拍，提升产能

3. 一体化整机单元，自带控制回路，集成调试便捷

4. 转子非接触运转，粉尘产生量低，适配半导体精密工艺

5. 负载自适应控制，长时间连续运行稳定性优秀

6. 标配状态监测接口，支持接入产线上位系统做远程监控

应用场景

半导体晶圆 Load Lock 锁仓、真空传输腔、晶圆检测设备、大型光学镀膜设备等需要快速抽真空的洁净制程。

使用注意事项

1. 氮气吹扫流量、压力严格按照设备铭牌参数设置，防止水汽、副产物沉积

2. 进气前端建议搭配粉尘过滤器，保护泵体转子

3. 做好供电稳压保护，配置缺相、过载报警停机功能

4. 定期执行点检保养，检查密封件、吹扫管路、散热系统

5. 注意进气压力限制，避免长时间在高压区间运行损伤泵体