【高斯摩】日本原装 KOSAKA小坂 ET8000微型测量机

【高斯摩】日本原装 KOSAKA小坂 ET8000微型测量机

【高斯摩】日本原装 KOSAKA小坂 ET8000微型测量机

产品简介

ET8000 为日本原装超大型全自动微细形状测量机，专为超大尺寸基板工件开发，直动式检出器结构，可完成台阶高度、薄膜膜厚、微沟槽、表面粗糙度检测，兼容 JIS、ISO 多国测量标准。整机封闭式防护柜体，可承载最大 2200×2600mm 超大样品，支持全自动多点 mapping 测量，适配大尺寸面板、大型光学基板纳米级工艺质检，解决大工件微纳形貌检测装夹困难的痛点。

核心特点

1.Z 轴测量范围 100μm，Z 向分辨率 0.1nm；X 轴扫描最大 10mm，Y 轴工作台行程 10mm；台阶测量再现性 1σ≤1nm，测量力 0.5μN‑500μN 大范围可调，标配 R2μm 金刚石触针。 2. 可兼容 2200×2600mm 超大尺寸样品，封闭式安全防护柜体，可选购自动上下料工作台，实现工件自动化流转检测。 3. 低测量力模式可低至 0.5μN，适配光刻胶、软镀膜等易划伤工件，避免探针压伤样品表面。 4. 检出器配置碰撞过载保护，探针发生撞击瞬间自动停机，保护金刚石触针与大型贵重样品；搭载宏程序自动测量，存储多套检测流程，实现大基板多点位 mapping 连续检测。 5. 配置 CCD 可视观测系统，直观确认探针与被测测点位置；解析功能包含台阶高度、膜厚、沟槽深度、粗糙度、波纹度等全套参数；可自定义报表模板，测量数据导出生成 PDF、Excel 格式检测报告。 6. 整机重型花岗岩底座，低热膨胀系数，抗振动性能优异，适配超大尺寸工件的高精度稳定测量。

应用领域

‑光电显示行业：超大尺寸 FPD 面板、液晶基板、ITO 镀膜玻璃台阶、膜厚、粗糙度检测 ‑光学行业：大型光学玻璃基板、大型镀膜板材微细台阶与表面质量测量 ‑半导体行业：超大尺寸载板、大型掩膜版微纳形貌、沟槽台阶检测 ‑新能源行业：大尺寸薄膜基板、光伏镀膜基板台阶高度检测 ‑科研计量：高校、计量机构超大规格试样微纳形貌比对分析

使用注意事项

1. 被测工件表面清理干净，去除粉尘、碎屑，防止划伤金刚石触针。 2. 设备需放置恒温、低振动环境，震动、温度波动会带来纳米级别测量误差。 3. 定期使用台阶标准片、粗糙度标准片校验设备，保障测量数据可靠。 4. 运行自动宏程序，合理设置安全避让高度，防止探头撞击工件棱角。 5. 金刚石触针属于精密损耗件，定期检查磨损状态，磨损超标及时更换。 6. 封闭式柜体不要随意拆卸，检出器探针组件严禁磕碰摔落。 7. 长期停机做好防尘防护，定期对导轨、传动机构开展维护保养。

样品尺寸高达2200×2600毫米的大型工件可以高精度自动测量。 还有加载和卸载样本的选项。

• 用于全自动测量大型工件。