【高斯摩分享】宽量程痕量氧检测｜TORAY 东丽 LC‑860 氧化锆氧气分析仪技术解析
【高斯摩分享】宽量程痕量氧检测｜TORAY 东丽 LC‑860 氧化锆氧气分析仪技术解析
【高斯摩分享】宽量程痕量氧检测｜TORAY 东丽 LC‑860 氧化锆氧气分析仪技术解析
产品概述
LC‑860 为抽吸式氧化锆氧气分析仪，支持台式摆放与面板嵌入两种安装方式，搭载内置取样泵，可实现从 ppb 级微量氧直至 100% VOL 全区间氧气浓度检测。整机集成气路调节、流量监测、信号输出、多路报警继电器，6 位 LED 数字显示，支持自动、手动量程切换，适配半导体、锂电手套箱、热处理气氛炉、高纯特种气体管路，完成低氧环境在线连续监测。
工作原理
采用氧化锆浓差电池检测原理，氧化锆陶瓷元件维持高温工作状态，陶瓷两侧分别通入样气与大气参比气体。两侧氧分压存在差异时，氧离子在陶瓷内部迁移，产生电动势，仪器依据能斯特方程，将电势信号换算为氧气浓度数值。设备内置隔膜泵持续抽吸样气，旁路分流结构保障传感器采样流量稳定；整机具备完善自检，可识别传感器老化、升温异常、硬件故障；空气校准时可执行传感器自动活化，延缓传感器性能衰减，延长使用寿命。
核心技术参数
测量原理：氧化锆浓差电池式
显示：6 位 LED 数码管，自动 / 手动量程切换
测量量程：0‑1/10/100/1000ppm、1/10/100vol% O₂；氧分压 10⁻²⁰~1atm（0‑1ppm 量程不作精度保证）
重复性：±1% FS 以内
响应时间：T90≤30s（气路置换完成后）
预热时间：20 分钟以内
采样方式：内置泵连续抽吸；总样气流量 1000‑2000mL/min，传感器采样流量 200±50mL/min
样气条件：压力≤30kPa；露点低于环境温度；禁止含腐蚀性气体、硅成分、油雾、可燃组分
模拟输出：4‑20mA 隔离、0‑10V 隔离
通讯接口：RS‑232C
接点输出：设备故障、浓度上下限报警、预热就绪、量程标记多路无源接点
电源：AC100‑240V，50/60Hz
外形尺寸：288×144×400mm（不含凸起）
整机重量：约 10kg
气路接口：INLET Rc1/8；BYPASS OUT Rc1/8；OUTLET Rc1/4
产品核心优势
超宽测量区间，微量氧到百分浓度一机覆盖可同时应对 ppb 级高纯气体痕量氧检测，也可直接测量百分比高氧浓度，一台设备覆盖多种工况，无需更换多台不同量程分析仪。
氧化锆固态传感器，无电解液消耗区别于电化学传感器，没有电解液干涸失效问题，适合干燥惰性气体长期连续监测，传感器正常维护下使用寿命长。
一体化内置取样气路，现场部署便捷主机集成抽气泵、流量计、旁路调节阀，用户仅接入样气进出管路即可投入使用，无需额外配置外置取样泵，简化预处理系统。
丰富信号与报警输出，对接自动化系统友好同时具备隔离模拟量、RS‑232 数字通讯，多路继电器接点，可对接 PLC、记录仪、上位设备，实现数据采集、超限报警、设备故障告警。
传感器自动活化，降低维护频次空气校准时自动对传感器执行活化处理，缓解传感器中毒老化，减少频繁更换传感器成本，适合长时间不间断运行工况。
台式、面板安装两用，适配不同机柜布局既可工作台摆放，也可嵌入控制柜面板，半导体设备、热处理炉柜、分析实验室均可适配安装。
完善整机自诊断可检测升温异常、CPU 故障、传感器异常等多种故障，故障接点输出，方便运维人员快速定位设备问题。
主要应用场景
半导体行业高纯氮气、氩气管路微量氧监测；
锂电池手套箱、注液车间惰性气氛氧含量监控；
热处理退火炉、烧结炉气氛氧浓度管控；
特种气体制造、气体分装工序氧杂质检测；
高校科研实验室微量气体分析试验；
真空腔体、氮气柜内部残留氧气监测。
使用注意事项
样气不能含有卤素、硫化物、硅油、油雾，该类物质会造成氧化锆传感器不可逆中毒损坏；样气露点必须低于环境温度，防止水汽进入仪器；设备需要定期执行空气校准；传感器属于高温元件，开机预热阶段不可拆开机壳；气路管路做好密封性检查，微量氧检测时管路泄漏会造成数据严重偏高；按照工况定期检查过滤器滤芯；避免剧烈震动；仪器工作环境远离腐蚀性气体；按照计量周期开展校验。
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