【高斯摩分享】 导体加工 “全能选手” DISCO!从切割到研磨的全流程设备 & 耗材清单,一文看懂核心优势
在半导体晶圆加工的 “幕后”,DISCO 的设备和耗材几乎贯穿了从切割、研磨到抛光的关键环节。
无论是能切 6-12 英寸晶圆的精密切割機,
还是能磨薄至 50μm 的研磨機,每款产品都藏着 “小而精” 的设计。
今天就拆解 DISCO 的核心产品矩阵,帮你快速 get 半导体加工的 “装备攻略”!
一、先认品牌:DISCO 的 “半导体设备履历”
作为日本半导体设备老牌企业,DISCO 的技术积累超 80 年,关键里程碑值得关注:
1937 年:成立于广岛 Kure,从生产玻化结合剂砂轮起步,踏入磨具领域;
1956 年:研发出日本第一支超薄(0.13-0.14mm)树脂结合剂刀片,奠定切割耗材优势;
1976 年:推出第一台自动划片 / 切割机 DAD-2H,从 “耗材” 向 “设备 + 耗材” 全链条延伸;
2004 年:在半导体全自动 / 半自动切割、研磨、薄晶圆加工领域站稳脚跟,成为行业标杆。
二、核心设备:切割 & 研磨 “主力军”,覆盖不同需求
DISCO 的设备主打 “精准 + 高效 + 小巧”,不同型号适配从实验室小批量到工厂大规模生产:
1. 切割機:从半自动到全自动,晶圆 “分家” 靠它们
2. 研磨 & 抛光機:把晶圆 “磨薄” 还能去应力
DFG8540/8560:能处理 300mm 直径晶圆,薄至 100μm 以下,自带清洗刷和陶瓷吸盘,避免砂粉污染;
DFP8140/8160:不用研磨液和化学药剂,靠干式抛光去应力,还能和研磨机连線使用,超薄晶圆(<100μm)良率超高;
DGP8760:3 主轴 + 4 工作盘,研磨到 50μm 都稳定,占地面积比连線设备小 35%,还能和贴片设备连線,适合一体化生产。
三、关键耗材:设备 “好搭档”,品质决定良率
光有设备不够,DISCO 的耗材(刀片、磨轮、胶帶)同样是 “核心竞争力”:
1. 精密刀片:硬脆材料 “手术刀”
不同刀片对应不同材质,精准匹配需求:
NBC-ZH 系列:电镀型刀片,适合硅和砷化镓(GaAs)等半导体晶圆;
B1A 系列:金属结合刀片,能切电子 / 光学器件、陶瓷、玻璃;
P1A 系列:树脂结合剂刀片,石英、半导体封装件都能切。
更贴心的是,有专人协助匹配刀片和切割参数,帮企业优化产能和品质。
2. 磨轮:研磨 “好帮手”
IF 系列:针对硅化合物半导体和陶瓷,研磨精度高;
GF01 系列:适配硅、化合物半导体晶圆,还有电子元件用的晶体和陶瓷;
还提供适配 OKAMOTO 机器的专用磨轮,不用愁兼容性。
3. 胶帶:晶圆 “保护衣”
Blue Tape(蓝胶)& UV 胶帶:研磨时保护晶圆正面不破损,切割时固定晶粒不流失,还不易残胶,有多种黏性可选;
可定制特殊胶帶,比如耐温胶帶,满足不同工艺需求。
四、辅助配件:细节决定成败,小零件有大作用
晶圆贴片框架 / 提篮:重量轻、耐高温、耐刮不易变形,还做了镀锌处理,受磁性强,适配自动化传送;
Double Slot Cassette(DSC):单机作业时最安全的晶圆传送工具,能卸载薄晶圆,还能消除翘曲方便上料。