【高斯摩】MUSASHI武藏 对应晶圆级全自动点胶机器 FAD5100S-WH

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・ 不停止连续动作的高速涂布

・ 不停止连续动作的高速对准:

　Mu SKY Capture机能

・ 涂布量自动化:DVM机能

・ 形成了理想的涂布模式“叶线”:MCD机器能[PAT.P]

・ 防止大量不良于未然:AFC机能

・晶圆映射功能安装

・可实现与EFEM连接的全部自动生产

・韦赫、FOUP应对

・晶圆映射功能

・结果重新映射(SECSGEM对应) 

【高斯摩】MUSASHI武藏 对应晶圆级全自动点胶机器 FAD5100S-WH