【高斯摩】MUSASHI武藏 高端点胶机FAD5700-WH

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Point

・最先进的半导体工艺(WLP/芯片雷特/异种芯片集成)对应

・行业最高水平的KOZ可以使用涂布

・可实现与EFEM连接的全部自动生产

Update

・多头部独立控制,涂抹重量自动辅助功能安装。

・为省人化做出贡献的最新UI。

・不停止连续动作的高速对准:

　Mu SKY Capture机能

・不停止连续动作的高度测量:

　Mu SKY Sensing机能

・涂布量自动化:DVM机能

・防止大量不良于未然:AFC机能

・韦赫、FOUP应对

・晶圆映射功能

・结果重新映射(SECSGEM对应) 

【高斯摩】MUSASHI武藏 高端点胶机FAD5700-WH