【高斯摩】MIKASA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-3000
【高斯摩】MISAKA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-3000【高斯摩】MISAKA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-3000室不锈钢转速0~3,000转/分基板尺寸φ1“ ~ φ12”（220×220mm）联 锁真空吸附确认传感器加工腔盖联锁喷嘴移动超限限制器化学泵送加压罐压力泵化学品排放喷雾排放（摆动喷嘴型）权力AC200V 三相 15A尺寸 （mm） 当门打开时720W×500H×520D910H
【高斯摩】MIKASA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-3000
【高斯摩】MIKASA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-3000
室 | 不锈钢 | 转速 | 0~3,000转/分 |
基板尺寸 | φ1“ ~ φ12” （220×220mm） | 联 锁 | 真空吸附确认传感器 加工腔盖联锁 喷嘴移动超限 限制器 |
化学泵送 | 加压罐压力泵 | ||
化学品排放 | 喷雾排放 （摆动喷嘴型） | 权力 | AC200V 三相 15A |
| 尺寸 （mm） 当门打开时 | 720W×500H×520D 910H | ||
步数 | 48 步 跳拷贝功能 | ||
| 程序模式 | 10 模式 | 重量 | 60 公斤 |
| 工艺（标准） | 开发商：1 个系统（2 个喷嘴） 冲洗：1 个系统（2 个喷嘴） 反 冲洗：1 个系统 | 关键选项 | 化学温度管理系统 （加压法） 各种基板支架 安装工作台 |
| 使用的化学品 | 碱性显影剂 |