【高斯摩】MIKASA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-1200
【高斯摩】MISAKA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-1200【高斯摩】MISAKA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-1200室不锈钢转速0~3,000转/分基板尺寸φ1“~φ6”（150×150mm）联 锁真空吸附确认传感器加工腔盖联锁喷嘴移动超限限制器化学泵送内置泵使用化学品排放喷雾排放（摆动喷嘴型）权力交流 100V 4A尺寸 （mm） 当门打开时550W×440H×400D740H步数96 步跳
【高斯摩】MIKASA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-1200
【高斯摩】MIKASA米卡萨 显影和蚀刻设备 AD-1200
室 | 不锈钢 | 转速 | 0~3,000转/分 |
基板尺寸 | φ1“~φ6” （150×150mm） | 联 锁 | 真空吸附确认传感器 加工腔盖联锁 喷嘴移动超限 限制器 |
化学泵送 | 内置泵使用 | ||
化学品排放 | 喷雾排放 （摆动喷嘴型） | 权力 | 交流 100V 4A |
| 尺寸 （mm） 当门打开时 | 550W×440H×400D 740H | ||
步数 | 96 步 跳拷贝功能 | ||
| 程序模式 | 10 模式 | 重量 | 33 千克 |
| 工艺（标准） | 显影剂：1 行， 漂洗：1 行， 背洗：1 个系统 | 关键选项 | 化学温度管理系统 （加压法） 各种基板支架 安装工作台 |
| 使用的化学品 | 碱性显影剂 |