【高斯摩】MIKASA米卡萨 涂布机 MS-B300 （封闭型）
【高斯摩】MISAKA米卡萨 涂布机 MS-B300 （封闭型）Mikasa Spin Coater .com 产品由于使用交流伺服电机，因此是无刷的，因此在洁净室中具有出色的污染能力，并且通过减少电机产生的热量，它不易因连续使用过程中的温升而受薄膜厚度再现性的影响。【高斯摩】MISAKA米卡萨 涂布机 MS-B300 （封闭型）最大板尺寸150×150mm 基板转速 （rpm）20~3,000旋
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【高斯摩】MIKASA米卡萨 涂布机 MS-B300 （封闭型）
Mikasa Spin Coater .com 产品由于使用交流伺服电机，因此是无刷的，因此在洁净室中具有出色的污染能力，并且通过减少电机产生的热量，它不易因连续使用过程中的温升而受薄膜厚度再现性的影响。
【高斯摩】MISAKA米卡萨 涂布机 MS-B300 （封闭型）
| 最大板尺寸 | 150×150mm 基板 |
| 转速 （rpm） | 20~3,000 |
| 旋转精度 | ±1rpm （负载时） |
| 发动机 | 交流伺服电机 |
| 密封盖 | 铝/聚甲醛树脂 |
| 旋转室直径 | φ500毫米 |
| 步进模式数量 | 100 个步骤× 10 个模式 |
| 时间设置 | 999.9 秒 |
| 安全联锁装置 | 真空 标准 盖子 标配设备 |
| 滴灌设备 | 可选（最多可连接 1 个臂） |
| 使用的真空压力 | -0.08~-0.1MPa |
| 效用 | 空气：0.3MPa（上气缸用） |
| 权力 | AC200~240V 单相 5A |
| 尺寸 （mm） | 570 ×590 ×650 |
| 重量 | 65 公斤 |