MIKASA米卡萨 涂布机 MS-B200（密封型）
MISAKA米卡萨 涂布机 MS-B200（密封型）Mikasa Spin Coater .com 产品由于使用交流伺服电机，因此是无刷的，因此在洁净室中具有出色的污染能力，并且通过减少电机产生的热量，它不易因连续使用过程中的温升而受薄膜厚度再现性的影响。MISAKA米卡萨 涂布机 MS-B200（密封型）最大板尺寸100×100mm 基板转速 （rpm）20~3,000旋转精度±1rpm （负载
MIKASA米卡萨 涂布机 MS-B200（密封型）
Mikasa Spin Coater .com 产品由于使用交流伺服电机，因此是无刷的，因此在洁净室中具有出色的污染能力，并且通过减少电机产生的热量，它不易因连续使用过程中的温升而受薄膜厚度再现性的影响。
MIKASA米卡萨 涂布机 MS-B200（密封型）
| 最大板尺寸 | 100×100mm 基板 |
| 转速 （rpm） | 20~3,000 |
| 旋转精度 | ±1rpm （负载时） |
| 发动机 | 交流伺服电机 |
| 密封盖 | 铝/聚甲醛树脂 |
| 旋转室直径 | φ360毫米 |
| 步进模式数量 | 100 个步骤× 10 个模式 |
| 时间设置 | 999.9 秒 |
| 安全联锁装置 | 真空 标准 盖子 标配设备 |
| 滴灌设备 | 无法安装 |
| 使用的真空压力 | -0.08~-0.1MPa |
| 效用 | 空气：0.3MPa（上气缸用） |
| 权力 | 交流100~240V 5A |
| 外形尺寸 | 540 瓦×460 ×630 深 |
| 重量 | 44 公斤 |