MIKASA米卡萨 涂布机 MS-B300
最大板尺寸φ12 英寸晶圆或 200×200mm 基板转速 （rpm）20~5,000 元旋转精度±1rpm （负载时）发动机交流伺服电机盖聚碳酸酯旋转室直径φ500毫米步进模式数量100 个步骤× 10 个模式时间设置999.9 秒安全联锁装置真空 标准盖子 标配设备滴灌设备可选（最多可连接 2 个臂）使用的真空压力-0.08~-0.1MPa权力AC200~240V 单层 5A尺寸 （mm）54
| 最大板尺寸 | φ12 英寸晶圆或 200×200mm 基板 |
| 转速 （rpm） | 20~5,000 元 |
| 旋转精度 | ±1rpm （负载时） |
| 发动机 | 交流伺服电机 |
| 盖 | 聚碳酸酯 |
| 旋转室直径 | φ500毫米 |
| 步进模式数量 | 100 个步骤× 10 个模式 |
| 时间设置 | 999.9 秒 |
| 安全联锁装置 | 真空 标准 盖子 标配设备 |
| 滴灌设备 | 可选（最多可连接 2 个臂） |
| 使用的真空压力 | -0.08~-0.1MPa |
| 权力 | AC200~240V 单层 5A |
| 尺寸 （mm） | 545 瓦×432 ×654 瓦 |
| 重量 | 55 公斤 |
| 选择 | 定心夹具 |