SIBATA柴田 真空进气瓶 80100-052
真空进气瓶(Vacuum Inlet Bottle)是一种专门设计用于在真空环境下进行气体或液体进样的实验装置,广泛应用于化学分析、材料科学、半导体制造等领域。这种装置通常由高硼硅玻璃或不锈钢制成,具有优异的耐压性和化学稳定性,能够在高真空(10⁻³Pa至10⁻⁶Pa)条件下稳定工作。真空进气瓶的核心功能是:在维持系统真空度的同时引入样品精确控制气体或液体的进样量防止外界空气污染真空系统根据结构设
真空进气瓶(Vacuum Inlet Bottle)是一种专门设计用于在真空环境下进行气体或液体进样的实验装置,广泛应用于化学分析、材料科学、半导体制造等领域。这种装置通常由高硼硅玻璃或不锈钢制成,具有优异的耐压性和化学稳定性,能够在高真空(10⁻³Pa至10⁻⁶Pa)条件下稳定工作。真空进气瓶的核心功能是:在维持系统真空度的同时引入样品精确控制气体或液体的进样量防止外界空气污染真空系统根据结构设
真空进气瓶(Vacuum Inlet Bottle)是一种专门设计用于在真空环境下进行气体或液体进样的实验装置,广泛应用于化学分析、材料科学、半导体制造等领域。这种装置通常由高硼硅玻璃或不锈钢制成,具有优异的耐压性和化学稳定性,能够在高真空(10⁻³Pa至10⁻⁶Pa)条件下稳定工作。
真空进气瓶的核心功能是:
在维持系统真空度的同时引入样品
精确控制气体或液体的进样量
防止外界空气污染真空系统
根据结构设计,真空进气瓶可分为:
直通式真空进气瓶:结构简单,适用于一般性气体进样
多通道真空进气瓶:可同时连接多个气源,实现混合气体配置
加热型真空进气瓶:配备加热装置,适用于高沸点液体汽化进样
采用金属密封圈或氟橡胶O型圈,漏率可低至10⁻⁹Pa·m³/s,确保长期使用不会因漏气影响真空度。特殊设计的波纹管阀杆结构完全消除了旋转密封处的泄漏风险。
配备高精度针阀或质量流量控制器(MFC),气体流量控制精度可达±1%设定值,液体进样量控制精度达±0.1μL,满足精密实验需求。
主体材料可选316L不锈钢、哈氏合金或石英玻璃,可耐受强酸(如王水)、强碱(如浓NaOH)及有机溶剂,适用pH范围0-14。
采用标准KF、CF或Swagelok接口,可快速与各类真空系统集成,更换时间不超过5分钟,大大提升实验效率。
通过ISO 9001认证,爆破压力≥10倍工作压力,配备过压保护装置,确保高压(最高10MPa)或高温(最高450℃)条件下的使用安全。