SATOVAC佐藤 皮拉尼真空计 PG-20B

真空计（Vacuum Gauge），又称真空压力计或真空规，是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器。其工作原理基于不同压力范围内气体分子的物理特性变化，通过传感器将压力信号转换为电信号，最终以数字或模拟方式显示真空度。真空计广泛应用于科研、工业制造、半导体、航空航天等领域，是真空技术的关键测量设备。

以低成本以紧凑的形式提供必要和充分的功能... 这是一种新型的紧凑型数字皮拉尼真空计，易于作。

1. 真空计的核心组成

传感器：根据测量原理不同，可分为机械式、热传导式、电离式等。

信号处理电路：放大和转换传感器信号，提高测量精度。

显示/输出单元：数字显示、模拟指针或数据接口（RS485、USB等）。

校准系统（部分高端型号）：确保长期测量准确性。

2. 真空计的分类

根据不同测量原理和适用压力范围，真空计主要分为以下几类：

类型 测量范围（Pa） 工作原理 典型应用

机械式真空计 10⁵ ~ 10⁻¹ 利用弹性元件（如波登管、薄膜）变形测量压力 粗真空测量（如真空包装、空调系统）

热传导真空计 10³ ~ 10⁻³ 基于气体热导率随压力变化的特性 中低真空（如真空炉、镀膜设备）

电离真空计 10⁻¹ ~ 10⁻⁷ 通过电离气体分子测量离子电流 高真空（如电子显微镜、半导体制造）

电容式真空计 10⁵ ~ 10⁻⁴ 利用电容变化测量薄膜位移 高精度真空控制（如科研实验）

复合真空计 10⁵ ~ 10⁻⁷ 结合多种传感器，覆盖宽量程 全范围真空监测（如航天测试）