ANRITSU安立计器 温度传感器 AW-0505K-S-TS1-ANP
AW 系列是带有热电偶的硅晶片,对于半导体制造设备的开发、工艺条件和温度分布测量是必不可少的。工作温度范围:0~500°C宽容:0°C 至 100°C:±2.5°C 100°C 至 200°C:±5.0°C 200°C 至 300°C:±6.0°C 300°C 至 400°C:±7.0°C 400°C 至 500°C 或更低:±8.0°C
AW 系列是带有热电偶的硅晶片,对于半导体制造设备的开发、工艺条件和温度分布测量是必不可少的。工作温度范围:0~500°C宽容:0°C 至 100°C:±2.5°C 100°C 至 200°C:±5.0°C 200°C 至 300°C:±6.0°C 300°C 至 400°C:±7.0°C 400°C 至 500°C 或更低:±8.0°C
AW 系列是带有热电偶的硅晶片,对于半导体制造设备的开发、工艺条件和温度分布测量是必不可少的。
工作温度范围:
0~500°C
宽容:
0°C 至 100°C:±2.5°C 100
°C 至 200°C:±5.0°C 200
°C 至 300°C:±6.0°C 300
°C 至 400°C:±7.0°C 400
°C 至 500°C 或更低:±8.0°C